楚赟精工科技(上海)有限公司万飞华获国家专利权
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龙图腾网获悉楚赟精工科技(上海)有限公司申请的专利加热装置和气相沉积设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116949430B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-26发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310955400.7，技术领域涉及：C23C16/46；该发明授权加热装置和气相沉积设备是由万飞华设计研发完成，并于2023-07-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本加热装置和气相沉积设备在说明书摘要公布了：本发明提供了一种加热装置和气相沉积设备。所述加热装置包括加热组件、外隔热部和外圈反射部；所述加热组件包括加热部和支撑部。由于所述加热组件外围设有所述外隔热部，加强了保温效果，有利于提高加热装置所加热的载片装置能达到的温度上限，且能大幅度降低加热装置的能耗；为减少或避免所述加热部的外圈加热区温场和内圈加热区温场相互影响而不利于温场均匀性，将所述外圈反射部围设于所述支撑部顶面的与所述加热部的外圈加热区域相对应的外圈区域，以通过反射所接收到热量来减少或避免所述外圈加热区温场和所述内圈加热区温场之间相互影响，有利于加热均匀性。
本发明授权加热装置和气相沉积设备在权利要求书中公布了：1.一种加热装置，其特征在于，包括： 加热组件，包括加热部和支撑部，所述加热部架设于所述支撑部顶部，所述加热部包括外圈加热区和由所述外圈加热区所围的内圈加热区，所述支撑部顶面包括与所述外圈加热区对应的外圈区域； 外隔热部，围设于所述加热组件外，并使所述加热部和所述支撑部容纳于所述外隔热部内； 外圈反射部，围设于所述外圈区域，以通过反射所接收到热量来减少或避免所述外圈加热区温场和所述内圈加热区温场之间相互影响； 所述外圈反射部与所述外圈区域之间所夹的角度大于等于60度且小于等于90度，所述外圈加热区与所述外圈区域之间的垂直距离为H，所述外圈反射部的垂直高度大于等于3H4且小于H。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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