中国电子科技集团公司第十研究所仝晓刚获国家专利权
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龙图腾网获悉中国电子科技集团公司第十研究所申请的专利一种C型聚对二甲苯二聚体的成膜速率匹配方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116913400B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-26发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310783417.9,技术领域涉及:G16C20/10;该发明授权一种C型聚对二甲苯二聚体的成膜速率匹配方法是由仝晓刚;刘强强设计研发完成,并于2023-06-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种C型聚对二甲苯二聚体的成膜速率匹配方法在说明书摘要公布了:本发明提供一种C型聚对二甲苯二聚体的成膜速率匹配方法,包括如下步骤:S100,分别构建升华速率计算公式、裂解速率计算公式和成膜速率计算公式;S200,利用所述升华速率计算公式、裂解速率计算公式和成膜速率计算公式分别计算升华速率、裂解速率和成膜速率,通过调整相应的升华温度、裂解温度以及成膜温度,实现升华速率、裂解速率和成膜速率相等,从而达到C型对二甲苯二聚体成膜过程的速度匹配。利用本发明,可显著提高C型聚对二甲苯二聚体的成膜效率,缩短产品加工时间40%以上,提高C型聚对二甲苯二聚体的原料利用率,同时提高了C型聚对二甲苯二聚体的成膜质量,大幅减少了成膜过程中的C残留物质。
本发明授权一种C型聚对二甲苯二聚体的成膜速率匹配方法在权利要求书中公布了:1.一种C型聚对二甲苯二聚体的成膜速率匹配方法,其特征在于,包括如下步骤: S100,分别构建升华速率计算公式、裂解速率计算公式和成膜速率计算公式; S200,利用所述升华速率计算公式、裂解速率计算公式和成膜速率计算公式分别计算升华速率、裂解速率和成膜速率,通过调整相应的升华温度、裂解温度以及成膜温度,实现升华速率、裂解速率和成膜速率相等,从而达到C型对二甲苯二聚体成膜过程的速度匹配; 步骤S100包括如下子步骤: S101,采集C型聚对二甲苯二聚体的DSC曲线和DTG曲线; S102,构建C型聚对二甲苯二聚体的升华温度模型; S103,结合所述DSC曲线和升华温度模型求解最大升华温度; S104,构建C型聚对二甲苯二聚体的裂解温度模型; S105,结合所述DTG曲线和裂解温度模型求解最大裂解温度; S106,构建C型聚对二甲苯二聚体的无定型大分子链模型; S107,利用无定型大分子链模型确定最大成膜温度和最大成膜压力; S108,结合最大升华温度、最大裂解温度、最大成膜温度和最大成膜压力,通过成膜实验确定成膜时间; S109,利用所述成膜时间构建升华速率计算公式; S110,结合所述最大裂解温度构建裂解速率计算公式; S111,结合所述最大成膜温度和最大成膜压力构建成膜速率计算公式; 步骤S110中,结合所述最大裂解温度构建裂解速率计算公式的方法为: 1将裂解反应的指前因子A和裂解的表观活化能Ea带入Arrhenius方程,得到裂解速率常数方程: 2将所述最大裂解温度T裂解代入裂解速率常数方程,计算裂解速率常数k1; 3确定C型聚对二甲苯二聚体的浓度,表示为: c=P成膜RT裂解 式中,c为C型聚对二甲苯二聚体的物质的量浓度,molL;P成膜为最大成膜压力;R为理想气体常数,8.314J·mol-1·K-1; 4结合裂解速率常数k1以及C型聚对二甲苯二聚体的浓度c,计算C型聚对二甲苯二聚体的裂解速率: υ裂解=ck1 式中,υ裂解为裂解速率,molLs;c为C型对二甲苯二聚体的物质的量浓度,molL;k1为裂解速率常数,s-1; 步骤S111中,结合所述最大成膜温度和最大成膜压力构建成膜速率计算公式的方法为: 1将自由能变ΔrG、最大成膜温度T成膜以及最大成膜压力P成膜带入下式,得到C型聚对二甲苯二聚体成膜时的速率常数k2: 式中,σ为反应路径简并度,对于大分子体系σ取值为1;κ为隧道效应校正系数,取值为1;kb为玻尔兹曼常数,1.381×10-23JK;h为普朗克常数,6.62×10-34J·s;R为理想气体常数,8.314J·mol-1·K-1;ΔrG为自由能变,kJmol;T成膜为最大成膜温度,K;P成膜为最大成膜压力,单位bar;NA为1mol物质的分子数,6.02×1023; 2计算成膜速率: ν成膜=ck2 式中,ν成膜为成膜速率,molLs;c为C型对二甲苯二聚体的物质的量浓度,molL;k2为C型聚对二甲苯二聚体成膜时的速率常数k2,s-1。
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