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龙图腾网获悉北京半导体专用设备研究所(中国电子科技集团公司第四十五研究所)申请的专利一种工作台的被动减振支撑机构及半导体设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116624552B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-26发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310621794.2，技术领域涉及：F16F15/02；该发明授权一种工作台的被动减振支撑机构及半导体设备是由李龙飞;关宏武;景亚慧;赵宏宇;许灿设计研发完成，并于2023-05-30向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种工作台的被动减振支撑机构及半导体设备在说明书摘要公布了：本发明涉及半导体设备技术领域，具体而言，涉及一种工作台的被动减振支撑机构，包括座体、柔性支柱及阻尼材料板，所述座体包括可拆卸连接的上盖座和下底座；所述柔性支柱包括上部的支撑部、中部的锥形体部和下部的解耦部，所述上盖座的底部开设有锥形槽，所述锥形体部对应设置于所述锥形槽；所述阻尼材料板对应设置于所述锥形槽与所述锥形体部之间；所述上盖座的顶部开设用于支撑部穿出的第二穿孔；所述下底座的顶部开设有锥形坑，所述解耦部位于所述锥形坑内，且所述解耦部的底端为球面结构，所述球面结构抵接于所述锥形坑的内壁。其既能够满足对工作台的支撑功能，同时又能够保证工作台装配的集成精度。

本发明授权一种工作台的被动减振支撑机构及半导体设备在权利要求书中公布了：1.一种工作台的被动减振支撑机构，设置于工作台4与基座5之间，其特征在于，包括：座体1、柔性支柱2及阻尼材料板3，所述座体1包括可拆卸连接的上盖座11和下底座12； 所述柔性支柱2包括上部的支撑部21、中部的锥形体部22和下部的解耦部23，所述支撑部21、所述锥形体部22和所述解耦部23为一体结构且同轴； 所述上盖座11的底部开设有锥形槽111，所述锥形槽111的顶端直径小于底端直径，所述锥形体部22的顶面为锥形面，且所述锥形体部22对应设置于所述锥形槽111； 所述阻尼材料板3整体呈锥形，所述阻尼材料板3对应设置于所述锥形槽111与所述锥形体部22之间，所述阻尼材料板3的顶端开设有第一穿孔，且所述支撑部21穿设于所述第一穿孔； 所述上盖座11的顶部开设与所述锥形槽111连通的第二穿孔112，所述支撑部21穿设于所述第二穿孔112并超出所述上盖座11的顶面； 所述下底座12的顶部开设有锥形坑121，所述锥形坑121的顶端直径大于底端直径，所述解耦部23位于所述锥形坑121内，且所述解耦部23的底端为球面结构，所述球面结构抵接于所述锥形坑121的内壁。

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