长鑫存储技术有限公司杨杰获国家专利权
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龙图腾网获悉长鑫存储技术有限公司申请的专利位线间耦合效应的表征方法及装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119028413B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-26发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310588408.4，技术领域涉及：G11C29/12；该发明授权位线间耦合效应的表征方法及装置是由杨杰设计研发完成，并于2023-05-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本位线间耦合效应的表征方法及装置在说明书摘要公布了：本公开提供了一种位线间耦合效应的表征方法及装置，涉及半导体技术领域。该方法包括：提供测试元件组TEG测试结构，TEG测试结构包括待测位线以及待测位线的多条相邻位线；在待测位线处于空置状态且多条相邻位线施加有预设工作电压的情况下，检测待测位线相较于基准电势端的第一测试电压；基于第一测试电压，确定目标调整电压，其中，目标调整电压用于表征位线间耦合效应对待测位线的电位抬升量。根据本公开实施例，能够对位线间耦合效应的表征精度进行定量表征。
本发明授权位线间耦合效应的表征方法及装置在权利要求书中公布了：1.一种位线间耦合效应的表征方法，其特征在于， 所述方法包括： 提供测试元件组TEG测试结构，所述TEG测试结构包括待测位线以及所述待测位线的多条相邻位线； 在所述待测位线处于空置状态且所述多条相邻位线施加有预设工作电压的情况下，检测所述待测位线相较于基准电势端的第一测试电压； 基于所述第一测试电压，确定目标调整电压，其中，所述目标调整电压用于表征位线间耦合效应对待测位线的电位抬升量； 所述多条相邻位线包括：位于所述待测位线一侧的N条第一位线，以及位于所述待测位线另一侧的N条第二位线，其中，N为任意正整数； 所述方法还包括： 在所述待测位线处于所述空置状态、所述N条第一位线施加有所述预设工作电压、以及所述N条第二位线施加有所述预设工作电压的负值电压的情况下，检测所述待测位线相较于所述基准电势端的第二测试电压； 其中，所述基于所述第一测试电压，确定目标调整电压，包括： 基于所述第一测试电压和所述第二测试电压，确定所述目标调整电压。
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