业成科技(成都)有限公司;业成光电(深圳)有限公司;业成光电(无锡)有限公司;英特盛科技股份有限公司洪凌桂获国家专利权
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龙图腾网获悉业成科技(成都)有限公司;业成光电(深圳)有限公司;业成光电(无锡)有限公司;英特盛科技股份有限公司申请的专利多层膜的量测装置及量测方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116538952B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-26发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310488962.5，技术领域涉及：G01B11/24；该发明授权多层膜的量测装置及量测方法是由洪凌桂;周蒋云;麦宏全;庄胜钧设计研发完成，并于2023-05-04向国家知识产权局提交的专利申请。
本多层膜的量测装置及量测方法在说明书摘要公布了：本申请提供一种多层膜的量测装置及量测方法，量测装置包括：量测模组、待测多层膜以及圆偏振模组。量测模组的同一侧面上具有光源单元以及接收模组，光源单元可产生镭射光束。圆偏振模组位于量测模组与待测多层膜之间。当镭射光束通过圆偏振模组至待测多层膜时，待测多层膜中的反射式偏振片会将镭射光束以全反射至接收模组，而待测多层膜中的第一相位延迟片表面反射的镭射光束会以圆偏振模组中的第二线偏振片吸收，可精确量测待测多层膜的功效。
本发明授权多层膜的量测装置及量测方法在权利要求书中公布了：1.一种多层膜的量测装置，其特征在于，包括： 量测模组，在一侧面上具有投射端口以及接收端口，所述量测模组还包括： 光源单元，位于与所述投射端口相对应，所述光源单元可产生镭射光束； 接收模组，位于与所述接收端口相对应； 待测多层膜，具有第一相位延迟片以及反射式偏振片，且所述第一相位延迟片邻靠所述量测模组； 第一线偏振片，且所述反射式偏振片位于所述第一相位延迟片以及所述第一线偏振片之间； 圆偏振模组，位于所述量测模组与所述待测多层膜之间，所述圆偏振模组具有第二相位延迟片以及第二线偏振片，且以所述第二线偏振片邻靠所述量测模组； 其中，当自所述投射端口投射出所述镭射光束，通过所述圆偏振模组至所述待测多层膜时，所述反射式偏振片以全反射将所述镭射光束通过所述圆偏振模组至所述接收端口，而以所述第一相位延迟片表面反射的所述镭射光束，将由所述第二线偏振片吸收。
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