佛山曜世新材料科技有限公司林晓棋获国家专利权
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龙图腾网获悉佛山曜世新材料科技有限公司申请的专利一种高效率的金刚石薄膜制备用沉积台获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116479409B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-26发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310434499.6，技术领域涉及：C23C16/458；该发明授权一种高效率的金刚石薄膜制备用沉积台是由林晓棋;游志恒设计研发完成，并于2023-04-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种高效率的金刚石薄膜制备用沉积台在说明书摘要公布了：本发明提供一种高效率的金刚石薄膜制备用沉积台，涉及金刚石薄膜制备技术领域。该高效率的金刚石薄膜制备用沉积台，包括基片台，所述基片台内置有螺旋盘状水冷管，所述螺旋盘状水冷管中心端口向下延伸形成进水管，并与水冷循环设备的输出端连通，所述螺旋盘状水冷管最外层端口向下延伸形成出水管，并与水冷循环设备的输入端连通。在金刚石薄膜制备过程中，通过在基片台内置螺旋盘状水冷管，并由其中心进水，边缘末端出水，使冷却水先对基片中心进行冷却，再沿螺旋盘状水冷管逐渐向四周流动，从而达到基片表面温差减小的效果，避免了因基片温度分布不均，导致制备出的金刚石薄膜均匀性较差的问题，同时提高了制备效率。
本发明授权一种高效率的金刚石薄膜制备用沉积台在权利要求书中公布了：1.一种高效率的金刚石薄膜制备用沉积台，包括基片台（4），其特征在于，所述基片台（4）上部内置有螺旋盘状水冷管（5），所述螺旋盘状水冷管（5）中心端口向下延伸形成进水管（6），并与水冷循环设备的输出端连通，所述螺旋盘状水冷管（5）最外层端口向下延伸形成出水管（7），并与水冷循环设备的输入端连通，使冷却水对基片台（4）的冷却顺序为由中心逐渐向四周冷却； 所述沉积台还包括基座（1），所述基座（1）上端凹槽用于承放基片（2），所述基座（1）套设于基片台（4）外部并相互转动连接，且基座（1）内上壁与基片台（4）上壁相接触，所述基座（1）下端固定连接在电动旋转台（3）输出端； 所述进水管（6）与出水管（7）均从基片台（4）下端贯穿而出； 所述基片台（4）下端穿过电动旋转台（3）中心通孔。
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