宣城开盛新能源科技有限公司邱佳林获国家专利权
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龙图腾网获悉宣城开盛新能源科技有限公司申请的专利一种真空腔室产品检漏装置及其检漏方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116399520B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-26发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310176859.7,技术领域涉及:G01M3/20;该发明授权一种真空腔室产品检漏装置及其检漏方法是由邱佳林;年志强;邓重;罗友菊设计研发完成,并于2023-02-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种真空腔室产品检漏装置及其检漏方法在说明书摘要公布了:本发明属于真空腔室产品生产技术领域的真空腔室产品检漏装置。装置腔壁1通过第一管路11连通真空泵8,装置腔壁1同时通过第二管路12连通第一管路11,第二管路12上设置分子泵5,装置腔壁1同时通过第三管路13连通氦质谱检漏仪10,真空泵8通过第五管路15连通尾排管路9,氦质谱检漏仪10通过第六管路16连通尾排管路9。本发明所述的真空腔室产品检漏装置,能够灵活移动至现场对真空腔室产品检漏,解决了不便移动的机台抽真空才能检漏问题,保障检漏可靠性,适用于各种真空腔室产品检漏,杜绝有毒污染气体污染现场,保护现场作业环境。
本发明授权一种真空腔室产品检漏装置及其检漏方法在权利要求书中公布了:1.一种真空腔室产品检漏装置,其特征在于:包括装置腔壁1,装置腔壁1一面设置第一凹进腔,设置第一凹进腔的装置腔壁1一面设置第一边沿贴合部,所述的装置腔壁1通过第一管路11连通真空泵8,装置腔壁1同时通过第二管路12连通第一管路11,第二管路12上设置分子泵5,装置腔壁1同时通过第三管路13连通氦质谱检漏仪10,真空泵8通过第五管路连通尾排管路9,氦质谱检漏仪10通过第六管路连通尾排管路9,第一管路11上设置第一阀门21,分子泵5和第一管路11之间的第二管路12上设置第二阀门22,第二管路12上的分子泵5和装置腔壁1之间设置板阀4,第三管路13上设置第三阀门23,待检漏真空腔室产品包括腔室产品腔壁17,腔室产品腔壁17一面设置第二凹进腔,设置第二凹进腔的腔室产品腔壁17一面设置第二边沿贴合部18,第二边沿贴合部18位置设置密封件,装置腔壁1同时通过第四管路14连通第四阀门24。
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