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青岛融合微电子科技有限公司朱帅获国家专利权

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龙图腾网获悉青岛融合微电子科技有限公司申请的专利一种倒装LED芯片及其制备工艺获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116344721B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-26发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310150069.1,技术领域涉及:H10H20/856;该发明授权一种倒装LED芯片及其制备工艺是由朱帅;康志杰设计研发完成,并于2023-02-22向国家知识产权局提交的专利申请。

一种倒装LED芯片及其制备工艺在说明书摘要公布了:本发明公开了一种倒装LED芯片及其制备工艺,属于倒装LED芯片技术领域。本发明的倒装LED芯片的制备工艺取消了繁琐的DBR膜层沉积,采用ODR全反射膜层代替了DBR,不但使芯片整体厚度减少,减少了物料的损耗,同时在反转与分选时芯粒更加稳固,减少了倒晶概率,并且采用ODR全反射膜层还能够提高出光效率。

本发明授权一种倒装LED芯片及其制备工艺在权利要求书中公布了:1.一种倒装LED芯片的制备工艺,其特征在于,包括以下步骤: S1对晶圆基底进行清洗,圆晶基底包括蓝宝石、N-GaN外延层、发光层和P-GaN外延层; S2在圆晶基底上进行ITO层的蒸镀与退火; S3在ITO层上涂上正性光刻胶,经曝光、显影去除掉ITO层一侧的正性光刻胶; S4通过干法刻蚀的方法,将暴露出的ITO层及其下方的P-GaN外延层、发光层和部分N-GaN外延层去除,形成N电极导电平台; S5通过湿法腐蚀的方法,将ITO层的四边内缩,露出下方的P-GaN外延层,随后去掉剩余的正性光刻胶; S6在ITO层、P-GaN外延层和N电极导电平台的上表面涂上负性光刻胶,经曝光、显影去除掉N电极导电平台一侧的负性光刻胶; S7通过干法刻蚀的方法,将暴露出的N电极导电平台去除,形成切割道;随后去除掉剩余的负性光刻胶; S8在ITO层、P-GaN外延层、N电极导电平台和切割道上涂上负性光刻胶,经曝光、显影去除掉ITO层和N电极导电平台的部分负性光刻胶; S9在负性光刻胶和露出的ITO层及N电极导电平台上蒸镀PAD1层,随后剥离掉负性光刻胶,从而在ITO层和N电极导电平台上分别镀上PAD1层; S10在ITO层、P-GaN外延层、PAD1层、N电极导电平台和切割道上沉积PV1层; S11在PV1层上涂上正性光刻胶,经曝光、显影去除掉对应PAD1层上的部分或全部正性光刻胶;通过湿法腐蚀的方法,将露出的PV1层去掉,再将剩余的正性光刻胶去除; S12在PV1层和露出的PAD1层上涂上负性光刻胶,经曝光、显影去除掉PV1层上的负性光刻胶; S13在PV1层和负性光刻胶上蒸镀金属铝层,随后剥离掉负性光刻胶,从而在PV1层上镀上金属铝层; S14在金属铝层和PAD1层上涂上负性光刻胶,经曝光、显影去除掉PAD1层上的负性光刻胶; S15在PAD1层和负性光刻胶上蒸镀PAD2层,随后剥离掉负性光刻胶,从而在PAD1层上镀上PAD2层; S16在步骤S15得到的半成品上沉积PV2层; S17在PV2层上正性光刻胶,经曝光、显影去除掉对应PAD2层上的部分或全部光刻胶; S18通过湿法腐蚀的方法,将暴露出的PV2层去除,随后去除掉剩余的正性光刻胶,形成与锡膏接触的通道。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人青岛融合微电子科技有限公司,其通讯地址为:266000 山东省青岛市黄岛区王台街道王台东路187号2216-2室;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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