华海清科股份有限公司赵德文获国家专利权
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龙图腾网获悉华海清科股份有限公司申请的专利一种用于化学机械抛光的弹性膜和承载头获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116038556B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-26发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211728619.5，技术领域涉及：B24B37/32；该发明授权一种用于化学机械抛光的弹性膜和承载头是由赵德文;温世乾;孟松林;王宇设计研发完成，并于2022-12-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于化学机械抛光的弹性膜和承载头在说明书摘要公布了：本发明公开了一种用于化学机械抛光的弹性膜和承载头，所述弹性膜包括：圆形的底板部；外周壁，其包括直立部、褶皱部和第一水平延伸部，所述直立部沿所述底板部的周缘向上竖直延伸而成，所述褶皱部位于所述直立部之上，所述第一水平延伸部自所述褶皱部顶端朝向内侧水平延伸而成；以及至少一个内周壁，其同心设置于所述外周壁的内侧；其中，所述褶皱部为开口向内的梯形折边。
本发明授权一种用于化学机械抛光的弹性膜和承载头在权利要求书中公布了：1.一种用于化学机械抛光的弹性膜，其特征在于，包括： 圆形的底板部； 外周壁，其包括直立部、褶皱部和第一水平延伸部，所述直立部沿底板部的周缘向上竖直延伸而成，所述褶皱部位于直立部之上，所述第一水平延伸部自褶皱部顶端朝向内侧水平延伸而成； 以及至少一个内周壁，其同心设置于所述外周壁的内侧； 其中，所述褶皱部为开口向内的梯形折边；所述褶皱部包括第一斜板、连接板和第二斜板，所述第一斜板自直立部朝外向上延伸，所述连接板自第一斜板的顶端竖向延伸，所述第二斜板自连接板的顶端朝内向上延伸并与第一水平延伸部连接；所述连接板与第一水平延伸部的夹角为50～80°。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
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