悟劳茂材料公司张泽龙获国家专利权
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龙图腾网获悉悟劳茂材料公司申请的专利掩模的拉伸力控制方法和框架一体型掩模的制造方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116426870B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-26发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211636010.5，技术领域涉及：C23C14/04；该发明授权掩模的拉伸力控制方法和框架一体型掩模的制造方法是由张泽龙;李炳一;李永浩设计研发完成，并于2022-12-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本掩模的拉伸力控制方法和框架一体型掩模的制造方法在说明书摘要公布了：本发明涉及掩模的拉伸力控制方法及框架一体型掩模的制造方法。根据本发明一实施例的掩模的拉伸力控制方法，该方法在框架和多个掩模连接的框架一体型掩模的制造过程中用于控制掩模的拉伸力，包括以下步骤：a判断用轧制工艺制造的掩模金属膜的厚度方向的内部应力分布；b根据厚度方向的内部应力分布缩减所述掩模金属膜的至少一面的厚度；c通过在所述掩模金属膜上形成多个掩模图案来准备掩模。
本发明授权掩模的拉伸力控制方法和框架一体型掩模的制造方法在权利要求书中公布了：1.一种掩模的拉伸力控制方法，该方法在框架和多个掩模连接的框架一体型掩模的制造过程中用于控制掩模的拉伸力，包括以下步骤： a判断用轧制工艺制造的掩模金属膜的厚度方向的内部应力分布，所述掩模金属膜的以厚度方向为基准的上部和下部包括压缩应力区间，中间部包括拉伸应力区间； b根据厚度方向的内部应力分布，从所述掩模金属膜的上部面和下部面缩减预设的厚度； c通过在所述掩模金属膜上形成多个掩模图案来准备掩模。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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