株式会社荏原制作所下山正获国家专利权
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龙图腾网获悉株式会社荏原制作所申请的专利基板状态测定装置、镀覆装置以及基板状态测定方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119593039B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-26发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411517665.X，技术领域涉及：C25D17/00；该发明授权基板状态测定装置、镀覆装置以及基板状态测定方法是由下山正;増田泰之;樋渡良辅设计研发完成，并于2022-08-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板状态测定装置、镀覆装置以及基板状态测定方法在说明书摘要公布了：对作为镀覆对象的基板的状态进行测定。基板状态测定装置具备：工作台，其构成为对具有晶种层和形成在上述晶种层上的抗蚀剂层的基板进行支承并使其旋转；至少一个白色共焦式传感器，其用于对被上述工作台支承的基板的板面进行测定；以及状态测定模块，其基于上述白色共焦式传感器对上述基板中的与供电部件接触的区域亦即供电部件接触区域的检测，来测定上述供电部件接触区域的状态。
本发明授权基板状态测定装置、镀覆装置以及基板状态测定方法在权利要求书中公布了：1.一种基板状态测定装置，其特征在于，具备： 工作台，所述工作台构成为对具有晶种层和形成在所述晶种层上的抗蚀剂层的基板进行支承并使其旋转； 至少一个白色共焦式传感器，所述白色共焦式传感器用于对被所述工作台支承的基板的板面进行测定；和 存储部，所述存储部储存有通过机器学习而构建的学习模型， 将所述白色共焦式传感器对所述基板中的被镀覆区域的检测信息输入所述学习模型来进行该学习模型的学习，并且使用所述学习模型来测定所述被镀覆区域的抗蚀剂层的开口率。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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