株式会社斯库林集团铃木达大获国家专利权
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龙图腾网获悉株式会社斯库林集团申请的专利基板处理装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115692253B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-26发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210890401.3，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权基板处理装置是由铃木达大;泷昭彦;西村优大设计研发完成，并于2022-07-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板处理装置在说明书摘要公布了：本发明提供一种基板处理装置。各分支配管具有供环境气体从主配管流入的内部空间。下游闸板设于各分支配管中的比上游闸板靠下游侧的位置，开闭分支配管。上游切换部件在上游空间允许外部环境气体的流入的状态以及上游空间禁止外部环境气体的流入的状态之间切换上游空间的状态。下游切换部件在下游空间允许外部环境气体的流入的状态以及下游空间禁止外部环境气体的流入的状态之间切换下游空间的状态。
本发明授权基板处理装置在权利要求书中公布了：1.一种基板处理装置，其特征在于，包括： 腔室，其收纳基板； 主配管，其排出上述腔室内的环境气体； 多个分支配管，其与上述主配管连接，各分支配管具有供环境气体从上述主配管流入的内部空间； 多个上游闸板，其在上述分支配管的每一个中各设置一个，开闭对应的上述分支配管； 多个下游闸板，其在上述分支配管的每一个中在比上述上游闸板靠下游侧的位置各设置一个，开闭对应的上述分支配管； 上游切换部件，其在各上述内部空间中的比上述上游闸板靠下游侧且比上述下游闸板靠上游侧的上游空间允许来自与上述主配管不同的路径的外部环境气体的流入的状态、以及上述上游空间禁止上述外部环境气体的流入的状态之间切换上述上游空间的状态；以及 下游切换部件，其在各上述内部空间中的比上述下游闸板靠下游侧的下游空间允许上述外部环境气体的流入的状态、以及上述下游空间禁止上述外部环境气体的流入的状态之间切换上述下游空间的状态。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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