中国科学院长春光学精密机械与物理研究所李元鹏获国家专利权
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龙图腾网获悉中国科学院长春光学精密机械与物理研究所申请的专利反射镜面形检测系统及其检测方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115218819B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-26发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210870591.2，技术领域涉及：G01B11/24；该发明授权反射镜面形检测系统及其检测方法是由李元鹏;郭疆;朱磊;杨利伟;崔永鹏设计研发完成，并于2022-07-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本反射镜面形检测系统及其检测方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种反射镜检测系统及其检测方法，其中的检测系统包括：干涉仪、法兰结构、真空容器和CGH；干涉仪用于发出一束检测光束入射至位于检测光束焦点位置处的法兰结构中；法兰结构设置有锥形通光孔，检测光束经锥形通光孔后入射至真空容器中，真空容器内设置有CGH和被测反射镜，检测光束经过CGH入射至被测反射镜中，并将真空容器调整至预设气压范围下对被测反射镜进行面形检测。本发明通过焦点处透光的方式，避免了采用窗口的真空环境反射镜面形检测方法，具有检测结果更直观、准确率高、成本低、简单易实现的特点。
本发明授权反射镜面形检测系统及其检测方法在权利要求书中公布了：1.一种反射镜检测系统，其特征在于，包括：干涉仪、法兰结构、真空容器和CGH； 所述干涉仪用于发出一束检测光束入射至位于所述检测光束焦点位置处的法兰结构中；所述法兰结构设置有锥形通光孔，所述检测光束经所述锥形通光孔后入射至所述真空容器中，所述真空容器内设置有CGH和被测反射镜，所述检测光束经过所述CGH入射至所述被测反射镜中，并将所述真空容器调整至预设气压下对所述被测反射镜进行面形检测； 所述法兰结构放置在所述真空容器外侧，所述法兰结构的中心位置处设置有锥形通光孔，所述锥形通光孔靠近所述真空容器的一侧直径较大，远离真空容器的一侧直径较小；所述锥形通光孔的直径为3mm~5mm。
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