买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉湘潭大学申请的专利一种具有高剩余极化强度的铈掺杂铪锆氧铁电薄膜的制备方法及应用获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115020210B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-26发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210760544.2，技术领域涉及：H01L21/28；该发明授权一种具有高剩余极化强度的铈掺杂铪锆氧铁电薄膜的制备方法及应用是由肖永光;刘思维;达香华;杨丽莎;唐明华设计研发完成，并于2022-06-29向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种具有高剩余极化强度的铈掺杂铪锆氧铁电薄膜的制备方法及应用在说明书摘要公布了：本发明提供了一种具有高剩余极化强度的铈掺杂铪锆氧铁电薄膜的制备方法及应用。首先使用有机铪源、有机锆源、铈盐为原料，通过多次加热搅拌，制备出澄清透明的铈掺杂铪锆氧前驱体溶液。最后再按照实验设计要求把前驱体溶液涂覆在清洗好的铂基片上，进行干燥、预热以及快速热退火处理得到表面致密均匀的Ce:Hf0.5Zr0.5O2铁电薄膜。本发明可以实现对膜的厚度以及掺杂元素含量的灵活调控，显著地提高了薄膜的剩余极化强度。

本发明授权一种具有高剩余极化强度的铈掺杂铪锆氧铁电薄膜的制备方法及应用在权利要求书中公布了：1.一种具有高剩余极化强度的铈掺杂铪锆氧铁电薄膜的制备方法，其特征在于，包括以下步骤： （1）将称取好的有机铪源、锆源加入到乙酸溶液中加热搅拌至完全溶解，然后向其加入乙酰丙酮溶液，调节pH值至3-5和稳定溶液的化学性质，得到HfO2-ZrO2体系的前驱体溶液；再向前驱体溶液中加入掺杂剂铈源加热搅拌20-40分钟，静置36-60小时，得到无可见颗粒的澄清透明的铈掺杂铪锆氧溶液； （2）基片的清洗：将切好的基片先使用去离子水超声清洗3-6min，再无水乙醇超声清洗8-12min，继续去离子水超声清洗3-6min，然后再用丙酮超声清洗8-12min，再用大量的去离子水冲洗、浸泡、然后干燥，再将干燥后的基片进行表面预处理，等离子清洗3-6min，以增加基片表面与前驱体溶液的湿润性； （3）涂覆和干燥：将步骤（1）所得铈掺杂铪锆氧溶液涂覆在步骤（2）所得清洗好的基片上，每涂一层都要将基片放置在烘板上烘烤结晶，再将烘烤后的基片进行表面预处理，减少其湿润角，增加膜的浸润性，根据需要的薄膜厚度重复上述操作； （4）将步骤（3）获得的薄膜置于充满保护气氛的退火炉中进行预热处理，然后进行退火处理，等待退火炉冷至室温取出基片，得到铈掺杂铪锆氧的铁电薄膜； （5）将步骤（4）所得铈掺杂铪锆氧铁电薄膜镀上电极； 所述的有机铪源为乙酰丙酮铪，锆源为乙酰丙酮锆，所述的铈源为硝酸铈； 铈掺杂铪锆氧中，铈的摩尔百分比为5-9%，记为5-9mol%，且不包括端点值； 步骤（4）中，所述保护气氛为氮气；退火工艺具体为：先从室温缓慢加热到180℃，保持3min，再以10℃s的升温速率加热到300℃，保持3min，之后再以10℃s的升温速率加热到400℃，保持5min，最后以40℃s的升温速率加热到800℃，保温150s，然后等冷却到室温可取出。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人湘潭大学，其通讯地址为：411105 湖南省湘潭市雨湖区羊牯塘27号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。