惠然科技有限公司崔战伟获国家专利权
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龙图腾网获悉惠然科技有限公司申请的专利机械对中装置及电子显微镜获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115083869B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-26发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210633165.7,技术领域涉及:H01J37/147;该发明授权机械对中装置及电子显微镜是由崔战伟;李涛;刘钧设计研发完成,并于2022-06-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本机械对中装置及电子显微镜在说明书摘要公布了:本发明公开了一种机械对中装置及使用该装置的电子显微镜,该装置包括:激光发射器,设置在电子显微镜的样品室内向电子显微镜的电子源发射激光束;半反半透镜,设置在电子显微镜的镜筒内,位于电子显微镜的电子源和光阑之间,且位于激光发射器所发射的激光束的照射路径上,半反半透镜的反射面向下倾斜设置;图像传感器,安装在镜筒上,接收所述半反半透镜所反射的激光束。本发明采用与电子束重合的激光束作为电子显微镜机械预对中的参照物,通过观察激光束斑来调节光阑的相对位置以及通过观察激光束在电子源枪尖的反射情况来调节电子源的相对位置,在无需通高压电和维持真空的前提下,安全、快捷地实现电子显微镜的快速机械对中。
本发明授权机械对中装置及电子显微镜在权利要求书中公布了:1.一种机械对中装置,其特征在于,包括: 激光发射器,所述激光发射器用于设置在电子显微镜的样品室内向电子显微镜的电子源发射激光束; 半反半透镜,所述半反半透镜用于设置在电子显微镜的镜筒内,在所述激光发射器发射激光束时位于电子显微镜的电子源和光阑之间,且位于所述激光发射器所发射的激光束的照射路径上,所述半反半透镜的反射面向下倾斜设置; 图像传感器,所述图像传感器用于安装在所述镜筒上,接收所述半反半透镜所反射的激光束; 所述半反半透镜的反射面与所述激光发射器所发射的激光束的照射方向成45度角,所述半反半透镜的反射面的中心与所述图像传感器的中心的连线方向与所述半反半透镜所反射的激光束的照射方向一致; 还包括用于调节所述激光发射器所发射的激光束的束斑直径的透镜系统; 通过所述图像传感器接收的反射激光束的图像,基于图像的圆度、同心度判断光阑是否遮挡激光束,并依据该判断调节光阑位置以实现光阑的机械对中;以及通过穿过半反半透镜并照射到电子源枪尖的激光束的漫反射,基于漫反射光斑的亮暗程度变化判断电子源是否偏移,并依据该判断调节电子源位置以实现电子源的机械对中。
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