晶瑞(湖北)微电子材料有限公司;晶瑞电子材料股份有限公司金炳生获国家专利权
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龙图腾网获悉晶瑞(湖北)微电子材料有限公司;晶瑞电子材料股份有限公司申请的专利一种四甲基氢氧化铵显影液及其制备方法和应用获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114859677B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-26发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210347560.9,技术领域涉及:G03F7/42;该发明授权一种四甲基氢氧化铵显影液及其制备方法和应用是由金炳生;高小云;傅华;刘耀鹏;谢汪洋;杨亮亮;刘兵设计研发完成,并于2022-04-01向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种四甲基氢氧化铵显影液及其制备方法和应用在说明书摘要公布了:本发明公开了一种四甲基氢氧化铵显影液及其制备方法和应用,该显影液包含四甲基氢氧化铵、聚氧乙基甘油醚、柠檬酸铵和水,聚氧乙基甘油醚与柠檬酸铵的投料质量比为1∶1‑10,制备:按配方称取各组分,然后混匀,获得四甲基氢氧化铵显影液,该显影液在刻蚀加工过程中,能够兼具优异的显影结果、残渣少和较好的存储稳定性能,适于在制备液晶显示器、印刷电路板和集成电路中的应用。
本发明授权一种四甲基氢氧化铵显影液及其制备方法和应用在权利要求书中公布了:1.一种四甲基氢氧化铵显影液,该显影液包含四甲基氢氧化铵和水,其特征在于,该显影液还包含聚氧乙基甘油醚和柠檬酸铵,所述聚氧乙基甘油醚与所述柠檬酸铵的投料质量比为1∶1-10;以质量百分含量计,所述四甲基氢氧化铵占所述显影液的质量百分数为1.0-5.0%,所述聚氧乙基甘油醚占所述显影液的质量百分数为0.01-1.0%,所述柠檬酸铵占所述显影液的质量百分数为0.01-1.0%。
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