南京大学涂学凑获国家专利权
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龙图腾网获悉南京大学申请的专利一种亚10nm间隙电极对的制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114649204B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-26发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210254670.0，技术领域涉及：H01L21/28；该发明授权一种亚10nm间隙电极对的制备方法是由涂学凑;刘梦欣;康琳;贾小氢;张蜡宝;赵清源;陈健;吴培亨设计研发完成，并于2022-03-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种亚10nm间隙电极对的制备方法在说明书摘要公布了：本发明提出了一种亚10nm间隙电极对的制备方法，根据三角形电极对尖端角度不同将电极对尖端设计为交叠零间距不交叠等结构；通过电子束光刻得到电极对图案，利用电子束蒸发系统沉积金属；将沉积金属后的电极对放置在SEM中进行热处理，通过电子束的辐照热效应调节电极对顶角间的间距，从而得到亚10nm间隙电极对。本发明中的制备方法简单易操作，而且可以在观察电极对形貌的同时可控地调节电极对间隙，得到想要的电极对间距，完全克服了当前亚10nm间隙电极对尖端相互粘连和间隙尺寸难于精确控制的制备工艺难题。
本发明授权一种亚10nm间隙电极对的制备方法在权利要求书中公布了：1.一种亚10nm间隙电极对的制备方法，其特征在于，包括以下步骤： 步骤1，根据电极对尖端角度设计掩模图形； 步骤2，在衬底上旋涂电子束胶，利用电子束光刻形成掩模图形，再在表面沉积金属； 步骤3，将沉积金属后的电极对放置在扫描电子显微镜样品台上，调节样品台使电极对图形处于屏幕中央，使电子束聚焦在电极对尖端位置，通过电子束辐照热效应调节电极对之间的间距，即增长电子束辐照时间减小电极对尖端间距，形成亚10nm间隙电极对结构。
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