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龙图腾网获悉北京航空航天大学申请的专利刻蚀气体监测系统及气体状态分析方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114544521B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-26发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210228509.6，技术领域涉及：G01N21/27；该发明授权刻蚀气体监测系统及气体状态分析方法是由戴星灿;王新河;林晓阳;常晓阳;赵巍胜设计研发完成，并于2022-03-08向国家知识产权局提交的专利申请。

本刻蚀气体监测系统及气体状态分析方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种刻蚀气体监测系统及气体状态分析方法。该系统包括：信号光源光梳、本振光源光梳、导光模块、等离子体刻蚀腔室、第一信号采集装置、参考臂和气体状态分析装置；导光模块将信号光源光梳发出的信号光和本振光源光梳发出的本振光合束得到混合光，将混合光分束为探测光和参考光；等离子体刻蚀腔室中的刻蚀气体吸收探测光，第一信号采集装置将吸收后的探测光转换为刻蚀射频信号；参考臂中的参考气体吸收参考光，将该吸收后的参考光转换为参考射频信号；气体状态分析装置分别与信号采集装置和参考臂连接，根据刻蚀射频信号和参考射频信号确定刻蚀气体状态，可以提高刻蚀气体监测的灵敏度，分辨率和实时性。

本发明授权刻蚀气体监测系统及气体状态分析方法在权利要求书中公布了：1.一种刻蚀气体监测系统，其特征在于，包括：信号光源光梳、本振光源光梳、导光模块、等离子体刻蚀腔室、第一信号采集装置、参考臂和气体状态分析装置；所述信号光源光梳和本振光源光梳的光谱具有相同的中心波长，工作波长覆盖需要监测的气体分子光谱吸收线的位置； 所述导光模块用于将信号光源光梳发出的信号光和本振光源光梳发出的本振光合束得到混合光，将所述混合光分束为探测光和参考光； 所述等离子体刻蚀腔室中的刻蚀气体用于吸收所述探测光，将该吸收后的探测光送入所述第一信号采集装置，以使所述第一信号采集装置将该吸收后的探测光转换为刻蚀射频信号； 所述参考臂中的参考气体用于吸收所述参考光，将该吸收后的参考光转换为参考射频信号； 所述气体状态分析装置分别与所述信号采集装置和所述参考臂连接，用于根据所述刻蚀射频信号和所述参考射频信号确定刻蚀气体状态； 其中，所述气体状态分析装置具体用于： 根据所述刻蚀射频信号和所述参考射频信号确定刻蚀光谱信号； 根据所述刻蚀光谱信号确定所述刻蚀气体状态； 其中，所述气体状态分析装置具体还用于： 根据所述参考射频信号和预设参考光谱信号确定转换系数； 根据所述转换系数和所述刻蚀射频信号确定所述刻蚀光谱信号。

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