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龙图腾网获悉苏州中特微电子科技有限公司申请的专利一种全自动接近式曝光机获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114690589B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-26发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210217885.5，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权一种全自动接近式曝光机是由傅舰艇;林世超设计研发完成，并于2022-03-08向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种全自动接近式曝光机在说明书摘要公布了：本发明公开了一种全自动接近式曝光机，涉及曝光技术领域，包括：支撑单元，所述支撑单元后侧固定连接有固定架；取料机械手和放料机械手，分别设置在支撑单元上表面右侧和左侧；上料机械手和下料机械手，分别设置在支撑单元上表面右侧和左侧；光源系统，设置在固定架上表面；两个视觉系统，对称设置固定架上表面左右两侧；精对位系统，设置在支撑单元中部；中转单元，设置在支撑单元上表面左侧；料仓装置，设置在支撑单元上表面前端两侧；粗对位系统，设置在支撑单元上表面右侧。本发明通过设置上料机械手、粗对位系统、取料机械手、中转单元、放料机械手和下料机械手，使得晶圆片没有等待时间，有效提高生产效率。

本发明授权一种全自动接近式曝光机在权利要求书中公布了：1.一种全自动接近式曝光机，其特征在于，包括： 支撑单元6，所述支撑单元6后侧固定连接有固定架12； 取料机械手2和放料机械手11，分别设置在支撑单元6上表面右侧和左侧，所述取料机械手2和放料机械手11用于执行吸取晶圆并沿直线运动传送晶圆； 上料机械手3和下料机械手10，分别设置在支撑单元6上表面右侧和左侧，所述上料机械手3和下料机械手10用于执行吸取晶圆并沿直线运动传送晶圆； 光源系统1，设置在固定架12上表面，所述光源系统1执行曝光动作； 两个视觉系统7，对称设置固定架12上表面左右两侧，所述视觉系统7用于执行晶圆相应标记点精确对位，视觉系统7可提供XYZ三轴方向运动； 精对位系统8，设置在支撑单元6中部，所述精对位系统8用于执行晶圆相应标记点精确对位，精对位系统8可提供XYZ三轴方向运动；所述精对位系统8包括托架8a和升降板8i，托架8a固定连接在支撑单元6上表面，升降板8i抵接在支撑单元6上表面，升降板8i前侧固定连接有X轴气缸8d，X轴气缸8d的输出端固定连接有平移板8j，平移板8j与升降板8i滑动连接，平移板8j上表面左侧固定连接有Y轴气缸8b，Y轴气缸8b的输出端固定连接有平板8c，平板8c与平移板8j滑动连接，平板8c顶部安装有旋转机构8h，旋转机构8h顶部固定连接有晶圆架8g，升降板8i底部安装有顶升气缸8e，顶升气缸8e的输出端与升降板8i固定连接，顶升气缸8e固定连接在支撑单元6上，托架8a中部安装有透光板8f； 中转单元9，设置在支撑单元6上表面左侧，所述中转单元9用于临时放置晶圆，可提供上下运动；所述中转单元9包括固定件9d，固定件9d固定连接在支撑单元6上表面，固定件9d后侧固定连接有中转气缸9c，中转气缸9c的输出端固定连接有托板9b，托板9b顶部四角均固定连接有中转柱9a； 料仓装置5，设置在支撑单元6上表面前端两侧，所述料仓装置5用于上下移动和储存晶圆；所述料仓装置5包括料仓板5c，料仓板5c固定连接在支撑单元6上表面，料仓板5c底部固定连接有料仓气缸5e，料仓气缸5e的输出端固定连接有料仓架5a，料仓架5a底部固定连接有滑杆5d，滑杆5d与料仓板5c滑动连接，料仓架5a左方前后侧均开设有若干个晶圆槽5b； 粗对位系统4，设置在支撑单元6上表面右侧，所述粗对位系统4用于执行晶圆粗对位动作，包括定心、旋转、上下移动晶圆；所述粗对位系统4包括撑板4c，撑板4c固定连接在支撑单元6上表面，撑板4c底部固定连接有粗对位气缸4d，撑板4c顶部固定连接有固定板4g，粗对位气缸4d的输出端固定连接有旋转头4f，旋转头4f顶部开设有开槽4e，固定板4g后侧固定连接有对位架4a，对位架4a与固定板4g之间固定连接有柔性钢条4b，固定板4g上表面两侧均固定连接有校正气缸4i，校正气缸4i的输出端固定连接有粗对位件4h。

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