株式会社斯库林集团青木陆太获国家专利权
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龙图腾网获悉株式会社斯库林集团申请的专利基板处理装置及基板处理方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115116891B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-26发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210219838.4，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权基板处理装置及基板处理方法是由青木陆太;水上大乘;相原友明设计研发完成，并于2022-03-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板处理装置及基板处理方法在说明书摘要公布了：本发明提供基板处理装置及基板处理方法。基板处理装置1具备处理液罐30、第一循环配管31、过滤器39、泵37和控制部3A。第一循环配管31的上游端31a与处理液罐30连接，并且下游端31b与处理液罐30连接，使处理液循环。过滤器39配置于第一循环配管31，捕捉处理液所含的颗粒。泵37配置于第一循环配管31。泵37具有旋转体371，通过使旋转体371旋转来送出处理液。在驱动停止状态的泵37的情况下，控制部3A控制泵37，以使旋转体371以400rpm秒以下的旋转加速度旋转。
本发明授权基板处理装置及基板处理方法在权利要求书中公布了：1.一种利用处理液对基板进行处理的基板处理装置，其特征在于， 所述基板处理装置具备： 处理液贮存部，其贮存所述处理液； 第一循环配管，其上游端与所述处理液贮存部连接，并且下游端与所述处理液贮存部连接，使所述处理液循环； 过滤器，其配置于所述第一循环配管，捕捉所述处理液中所含的颗粒； 泵，其配置于所述第一循环配管；以及 控制部，其控制所述泵， 所述泵具有旋转体，通过使所述旋转体旋转来送出所述处理液， 在驱动停止状态的所述泵的情况下，所述控制部以50rpm秒以下的旋转加速度且以转速经120秒以上达到目标转速的方式使所述旋转体旋转来控制所述泵。
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