东京毅力科创株式会社山形基获国家专利权
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龙图腾网获悉东京毅力科创株式会社申请的专利载置台构造、基板处理装置以及基板处理装置的控制方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114823462B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-26发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210014544.8，技术领域涉及：H01L21/683；该发明授权载置台构造、基板处理装置以及基板处理装置的控制方法是由山形基;曽根浩;品田正人设计研发完成，并于2022-01-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本载置台构造、基板处理装置以及基板处理装置的控制方法在说明书摘要公布了：本发明涉及载置台构造、基板处理装置以及基板处理装置的控制方法。提高基板的冷却效率。提供一种载置台构造，其具有：载置基板的载置台、冷却基板的冷冻机构、使所述载置台或所述冷冻机构升降的升降驱动部、以及设于所述冷冻机构与所述载置台的相对位置的触头，构成为能够利用由所述升降驱动部进行的所述载置台或所述冷冻机构的升降并隔着所述触头来使所述冷冻机构与所述载置台接触。
本发明授权载置台构造、基板处理装置以及基板处理装置的控制方法在权利要求书中公布了：1.一种载置台构造，其中， 该载置台构造具有： 载置台，其载置基板； 冷冻机构，其冷却基板； 升降驱动部，其使所述载置台或所述冷冻机构升降；以及 多个触头，其设于所述冷冻机构与所述载置台的相对位置， 其中，所述多个触头包括配置在所述冷冻机构侧的多个第一触头和配置在所述载置台侧的第二触头， 所述多个第一触头构成为，利用由所述升降驱动部进行的所述载置台或所述冷冻机构的升降而相对于所述第二触头接触和分离， 所述多个第一触头的与所述第二触头接触的接触面是平面， 构成为能够利用由所述升降驱动部进行的所述载置台或所述冷冻机构的升降并隔着所述多个第一触头和所述第二触头来使所述冷冻机构与所述载置台接触， 所述多个第一触头分别连接于多个弹性体，并隔着所述多个弹性体安装于所述冷冻机构， 所述多个第一触头的与所述第二触头接触的接触面在径向上被分割为多个部分。
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