拓荆科技股份有限公司刘春获国家专利权
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龙图腾网获悉拓荆科技股份有限公司申请的专利晶圆预热装载腔及其预热方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114334730B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-26发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111618017.X，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权晶圆预热装载腔及其预热方法是由刘春;姜宗帅;谈太德设计研发完成，并于2021-12-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆预热装载腔及其预热方法在说明书摘要公布了：本发明揭露一种晶圆预热装载腔以及预设方法，所述晶圆预热装载腔包括：用于接收经反应处理后晶圆的一上层腔室，及用于预热待反应处理晶圆得一下层腔室。所述下层腔室的底部包括：一热辐射板及一加热盘。加热盘位于热辐射板的上方且可升降于所述下层腔室中，使所述加热盘承载的晶圆在一预热位置和一接取位置之间移动。
本发明授权晶圆预热装载腔及其预热方法在权利要求书中公布了：1.一种晶圆预热装载腔，其特征在于，包括：一上层腔室，配置成接收经反应处理后的一晶圆，且由一顶部、一侧壁和一底部形成；及一下层腔室，独立于所述上层腔室并配置成预热等待反应处理的一晶圆，且由一顶部、一侧壁和一底部形成，其中，所述下层腔室的底部包括：一热辐射板；及一加热盘，用于加热所述下层腔室，位于所述热辐射板的上方且可升降于所述下层腔室中，使所述加热盘承载的晶圆在一预热位置和一接取位置之间移动，所述加热盘还具有用于提供加热惰性气体的至少一气体通道； 所述上层腔室的顶部具有一加热顶板，所述加热顶板的周围部分具有一凸缘，所述上层腔室的侧壁具有一肩部，当所述加热顶板连接至所述上层腔室的侧壁时，所述凸缘的一朝下表面和所述肩部的一朝上表面形成一环形空间，所述环形空间容纳一不锈钢环及一聚四氟乙烯环，用于阻断所述上层腔室的侧向热损失。
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