埃地沃兹日本有限公司桦泽刚志获国家专利权
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龙图腾网获悉埃地沃兹日本有限公司申请的专利真空排气系统的清洗装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115917147B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-26发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202180045029.X，技术领域涉及：F04B37/16；该发明授权真空排气系统的清洗装置是由桦泽刚志设计研发完成，并于2021-07-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本真空排气系统的清洗装置在说明书摘要公布了：提供一种能够防止在真空泵的下游处堆积物再附着的真空排气系统的清洗装置。具备：能够冷却含有升华成分的气体而令堆积物产生的冷却阱（13）；配设在冷却阱（13）的上游的至少一个的第一真空泵（11）；连接第一真空泵（11）和冷却阱（13）的至少一个的第一配管（21）；配设在冷却阱（13）的下游的至少一个的第二真空泵（16）；连接第二真空泵（16）和冷却阱（13）的至少一个的第二配管（22），将第一真空泵（11）和第一配管（21）的至少一部分加热到升华成分的升华温度以上，并且将冷却阱（13）冷却到升华成分的升华温度以下。
本发明授权真空排气系统的清洗装置在权利要求书中公布了：1.一种真空排气系统的清洗装置， 所述真空排气系统具有： 冷却阱，能够冷却含有升华成分的气体而令堆积物产生； 至少一个的第一真空泵，配置在前述冷却阱的上游； 至少一个的第一排气路径，连接前述第一真空泵和前述冷却阱； 至少一个的第二真空泵，配置在前述冷却阱的下游；以及 至少一个的第二排气路径，连接前述第二真空泵和前述冷却阱， 将前述气体排气， 所述真空排气系统的清洗装置的特征在于， 至少将前述第一真空泵或者前述第一排气路径的一部分加热到前述升华成分的升华温度以上，并且将前述冷却阱冷却到前述升华成分的升华温度以下， 前述冷却阱具备： 具有吸气口和排气口的壳体、 配设在前述壳体内的至少一个的板状部、 冷却前述板状部的冷却机构、 设置在前述壳体内的旋转轴、 固定于前述旋转轴的至少一个的刮出部， 前述刮出部构成为能够沿着前述板状部的板面旋转。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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