株式会社斯库林集团合田和树获国家专利权
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龙图腾网获悉株式会社斯库林集团申请的专利基板处理方法以及基板处理装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114068358B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-26发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110864672.7，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权基板处理方法以及基板处理装置是由合田和树;岩田敬次;松永恭幸;高桥朋宏设计研发完成，并于2021-07-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板处理方法以及基板处理装置在说明书摘要公布了：本发明提供一种能够容易地确认气泡供给管的开口的状态的基板处理装置以及基板处理方法。基板处理装置100A具备处理槽110、气泡供给管180A、测量部353和判定部12。处理槽110贮留处理液LQ并浸渍基板W。气泡供给管180A具有向处理液LQ中供给气体以形成气泡的多个开口G。测量部353在处理液LQ中测量由被供给了气泡的处理液LQ的状态引起的物理量。判定部12基于物理量判定多个开口G的状态。
本发明授权基板处理方法以及基板处理装置在权利要求书中公布了：1.一种基板处理方法，使用处理液处理基板，其中， 包含： 向具有多个开口的气泡供给管供给气体，并向所述处理液中供给所述气体以形成气泡的工序； 在所述处理液中测量由被供给了所述气泡的所述处理液的状态引起的物理量的工序； 基于所述物理量，判定所述多个开口的状态的工序， 所述物理量表示被供给了所述气泡的所述处理液的比重和在被供给了所述气泡的所述处理液中产生的压力中的一方， 在所述判定的工序中，基于被供给了所述气泡的所述处理液的比重和在被供给了所述气泡的所述处理液中产生的压力中的所述一方，判定所述多个开口的状态。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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