意法半导体股份有限公司G·加特瑞获国家专利权
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龙图腾网获悉意法半导体股份有限公司申请的专利用于检测振动的宽带宽MEMS加速度计获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114113679B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-26发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110863147.3，技术领域涉及：G01P15/08；该发明授权用于检测振动的宽带宽MEMS加速度计是由G·加特瑞;P·费德利;C·瓦尔扎希纳设计研发完成，并于2021-07-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于检测振动的宽带宽MEMS加速度计在说明书摘要公布了：本公开的各实施例涉及用于检测振动的宽带宽MEMS加速度计，包括：支撑结构、至少一个可变形组和至少一个第二可变形组，至少一个可变形组和至少一个第二可变形组分别包括第一可变形悬臂元件和第二可变形悬臂元件，第一可变形悬臂元件和第二可变形悬臂元件各具有相应第一端部和相应第二端部，第一端部被固定到支撑结构。第一可变形组和第二可变形组还分别包括第一压电检测结构和第二压电检测结构。MEMS加速度计还包括：第一移动质量块和第二移动质量块，分别被固定到第一可变形悬臂元件和第二可变形悬臂元件的第二端部并且分别相对于第一可变形悬臂元件和第二可变形悬臂元件垂直交错；以及第一弹性结构，将第一移动质量块和第二移动质量块弹性地耦合。
本发明授权用于检测振动的宽带宽MEMS加速度计在权利要求书中公布了：1.一种微机电系统MEMS加速度计，包括： 支撑结构； 第一可变形组和第二可变形组，所述第一可变形组和所述第二可变形组分别包括第一可变形悬臂元件和第二可变形悬臂元件，所述第一可变形悬臂元件和所述第二可变形悬臂元件在平行于一个平面的方向上布置并且各自具有相应的第一端部和相应的第二端部，所述第一端部被固定到所述支撑结构，所述第一可变形组还包括与所述第一可变形悬臂元件机械地耦合的第一压电检测结构，所述第二可变形组还包括与所述第二可变形悬臂元件机械地耦合的第二压电检测结构； 第一移动质量块和第二移动质量块，所述第一移动质量块和所述第二移动质量块分别被固定到所述第一可变形悬臂元件的所述第二端部和所述第二可变形悬臂元件的所述第二端部，并且在相对于所述平面横向的竖直方向上分别相对于所述第一可变形悬臂元件和所述第二可变形悬臂元件交错；以及 第一弹性结构，被配置为弹性地耦合所述第一移动质量块和所述第二移动质量块。
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