株式会社迪思科森数洋司获国家专利权
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龙图腾网获悉株式会社迪思科申请的专利激光加工装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN113458591B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-26发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202110324076.X,技术领域涉及:B23K26/02;该发明授权激光加工装置是由森数洋司;木村展之设计研发完成,并于2021-03-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本激光加工装置在说明书摘要公布了:本发明提供激光加工装置,该激光加工装置不会增大激光光线的光斑直径而生产能力优良。激光加工装置的激光光线照射单元包含:激光振荡器,其振荡出激光;Y轴扫描器,其将从激光振荡器射出的激光光线沿Y轴方向进行高速扫描;X轴扫描器,其将从激光振荡器射出的激光光线沿X轴方向进行加工进给;以及聚光器。Y轴扫描器是从声光偏转器、共振扫描器以及多面扫描器中的任意一个中选择的,X轴扫描器是从电流扫描器或共振扫描器中选择的。
本发明授权激光加工装置在权利要求书中公布了:1.一种激光加工装置,其具有: 卡盘工作台,其对被加工物进行保持,具有由X轴和Y轴规定的保持面;以及 激光光线照射单元,其向该卡盘工作台所保持的被加工物照射激光光线而形成破坏层, 该激光光线照射单元包含: 激光振荡器,其振荡出激光; Y轴扫描器,其将从该激光振荡器射出的激光光线沿Y轴方向进行高速扫描; X轴扫描器,其将从该激光振荡器射出的激光光线沿X轴方向进行加工进给;以及 聚光器, 将向被加工物照射的激光光线的光斑直径D设为5μm~60μm,将该激光光线的光斑的重叠率K设为0.70~0.99,将Y轴方向的扫描速度Vy设为1m秒~300m秒,将每个脉冲的激光光线的能量E设为0.07μJ~50μJ,将该Y轴扫描器的扫描宽度L设为恒定值, 该激光光线的重复频率H被设定为 H=Vy{D·1-K}MHz, 在将该Y轴扫描器的扫描宽度设为Lmm时,X轴方向的扫描速度Vx被设定为Vx=D·1-K·VyLmm秒, 该激光光线的平均输出P被设定为 P=E·Vy{D·1-K}W, 在该激光加工装置中,构成为实施如下的激光加工:基于由该Y轴扫描器沿Y轴方向进行扫描的该扫描宽度L,与该扫描宽度L对应地设定沿着X轴方向具有一定宽度的多个待加工列,使该激光振荡器动作并且使该X轴扫描器、该Y轴扫描器动作而将激光光线的聚光位置定位于该待加工列的规定位置并进行照射,然后,沿Y轴方向按照该扫描宽度L进行扫描,接着,使X轴扫描器动作而沿X轴方向按照实现该重叠率K的尺寸进行加工进给,接着,再次使Y轴扫描器动作而使激光光线沿Y轴方向按照该扫描宽度L进行扫描,然后,再次沿X轴方向按照实现重叠率K的尺寸进行加工进给,通过重复进行所述的扫描,与该待加工列对应地形成破坏层。
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