日本株式会社日立高新技术科学繁野雅次获国家专利权
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龙图腾网获悉日本株式会社日立高新技术科学申请的专利扫描型探针显微镜以及设定方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN113495171B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-26发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202110284276.7,技术领域涉及:G01Q60/00;该发明授权扫描型探针显微镜以及设定方法是由繁野雅次;山本浩令;鹿仓良晃;比嘉邦人设计研发完成,并于2021-03-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本扫描型探针显微镜以及设定方法在说明书摘要公布了:本发明提供扫描型探针显微镜以及设定方法。提供有助于测定时间的缩短的扫描型探针显微镜以及设定方法。扫描型探针显微镜具备:移动驱动部,其使所述悬臂与所述试样至少能够在Z方向上相对地进行移动;以及控制装置,其通过对所述移动驱动部进行控制而执行使所述悬臂与所述试样以规定的速度接近的接近动作,并在判定为所述探针和所述试样已接触的情况下,使所述接近动作停止,所述规定的速度被设定为,在执行了使所述接近动作停止的控制时,因所述探针与所述试样的接触而对所述试样施加的力不超过预先设定的第1力。
本发明授权扫描型探针显微镜以及设定方法在权利要求书中公布了:1.一种扫描型探针显微镜,该扫描型探针显微镜利用悬臂的探针来扫描试样的表面,其中,所述扫描型探针显微镜具备: 移动驱动部,其使所述悬臂与所述试样至少能够在Z方向上相对地进行移动; 控制装置,其通过对所述移动驱动部进行控制而执行使所述悬臂与所述试样以规定的速度接近的接近动作,并在判定为所述探针和所述试样已接触的情况下,使所述接近动作停止;以及 存储部,其存储第1力和第2力,所述第1力是允许施加到所述试样的力的最大值,且由用户输入,所述第2力是在判定为所述探针与所述试样表面接触时施加到所述悬臂的力,且由用户输入, 所述规定的速度是根据所述第1力和所述第2力预先计算的, 所述规定的速度被设定为,因所述探针与所述试样的接触而对所述试样施加的力不超过预先设定的第1力。
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