株式会社迪思科杉山智瑛获国家专利权
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龙图腾网获悉株式会社迪思科申请的专利工件的确认方法和加工方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN112397408B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-26发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202010800580.8,技术领域涉及:H01L21/66;该发明授权工件的确认方法和加工方法是由杉山智瑛设计研发完成,并于2020-08-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本工件的确认方法和加工方法在说明书摘要公布了:本发明提供工件的确认方法和加工方法,提出了用于根据工件的背面侧的拍摄图像而可靠地自动判别背面侧的崩边或裂纹的新技术。该工件的确认方法对背面固定于带7而正面5a露出并且已被分割的工件的背面5b进行确认,其中,该工件的确认方法具有如下的步骤:拍摄步骤,利用红外线相机第二拍摄单元106b从背面5b侧隔着带7对工件进行拍摄,形成拍摄图像;以及检测步骤,根据通过拍摄步骤而形成的拍摄图像,对产生在背面5n上的崩边5c和或裂纹5d进行检测。
本发明授权工件的确认方法和加工方法在权利要求书中公布了:1.一种工件的确认方法,对背面固定于带而正面露出并且已被分割的工件的该背面进行确认,其中, 该工件的确认方法具有如下的步骤: 拍摄步骤,利用红外线相机从该背面侧隔着该带对该工件进行拍摄,形成拍摄图像;以及 检测步骤,根据通过该拍摄步骤而形成的该拍摄图像,对产生在该背面上的崩边和或裂纹进行检测, 在该拍摄步骤中,在将该红外线相机的焦点定位于该工件的正面的状态下进行拍摄。
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