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株式会社迪思科柿沼良典获国家专利权

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龙图腾网获悉株式会社迪思科申请的专利保护部件形成装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN112349605B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-26发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202010782260.4,技术领域涉及:H01L21/56;该发明授权保护部件形成装置是由柿沼良典;右山芳国设计研发完成,并于2020-08-06向国家知识产权局提交的专利申请。

保护部件形成装置在说明书摘要公布了:提供保护部件形成装置,在按压液状树脂而使其扩展时,判定该液状树脂是否扩展到规定的范围。保护部件形成装置在树脂膜上层叠紫外线硬化型的液状树脂和覆盖片而在基板的正面上形成保护部件,具有:液状树脂提供单元,其向与基板密接的树脂膜上提供液状树脂;以及按压单元,其具有平坦且具有透光性的按压面,隔着覆盖片而利用按压面按压液状树脂,使液状树脂在树脂膜上扩展;紫外线照射单元,其向液状树脂照射紫外线而使其硬化;以及判定单元,其判定被扩展的液状树脂的状态,判定单元具有:照相机,其拍摄液状树脂和基板;以及判定部,其根据照相机拍摄而得到的图像来检测液状树脂和基板,判定液状树脂是否扩展到以基板为基准的规定的范围。

本发明授权保护部件形成装置在权利要求书中公布了:1.一种保护部件形成装置,其在树脂膜上层叠紫外线硬化型的液状树脂和覆盖片而在正面具有凹凸的基板的该正面上形成比该正面平坦的保护部件,该树脂膜比该基板大并且与该基板的该正面以仿照该凹凸的方式密接,其特征在于, 该保护部件形成装置具有: 支承工作台,其对在该正面上密接有该树脂膜的该基板进行支承; 液状树脂提供单元,其向与该支承工作台所支承的该基板密接的该树脂膜上提供该液状树脂; 按压单元,其具有能够保持该覆盖片的平坦且具有透光性的按压面,该按压单元隔着由该按压面保持的该覆盖片而利用该按压面按压提供到该树脂膜上的该液状树脂,使该液状树脂在该树脂膜上扩展; 紫外线照射单元,其隔着该按压面和该覆盖片向该液状树脂照射紫外线而使该液状树脂硬化,形成包含该树脂膜、硬化后的该液状树脂以及该覆盖片的该保护部件;以及 判定单元,其判定被该按压单元扩展的该液状树脂的状态, 该判定单元具有: 照相机,其隔着该按压单元的具有透光性的该按压面从上方拍摄该液状树脂和该基板; 判定部,其根据该照相机拍摄而得到的图像来检测该液状树脂和该基板,判定该液状树脂是否扩展到以该基板为基准的规定的范围;以及 通知部,其通知该判定部的判定结果。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人株式会社迪思科,其通讯地址为:日本东京都;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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