应用材料公司迈克尔·龙获国家专利权
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龙图腾网获悉应用材料公司申请的专利蒸气源、用于蒸气源的喷嘴、真空沉积系统和用于沉积蒸镀材料的方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116171336B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-26发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080104916.5，技术领域涉及：C23C14/04；该发明授权蒸气源、用于蒸气源的喷嘴、真空沉积系统和用于沉积蒸镀材料的方法是由迈克尔·龙设计研发完成，并于2020-08-04向国家知识产权局提交的专利申请。
本蒸气源、用于蒸气源的喷嘴、真空沉积系统和用于沉积蒸镀材料的方法在说明书摘要公布了：本文描述的实施方式涉及一种用于在真空腔室中将蒸镀材料沉积在基板10上的蒸气源100。所述蒸气源100包括蒸气分配管道110，所述蒸气分配管道具有用于将蒸镀材料导向所述基板的多个喷嘴，其中所述多个喷嘴中的至少一个喷嘴120包括：喷嘴通道121，所述喷嘴通道沿喷嘴轴线A从喷嘴入口122延伸到孔口123以及喷嘴插入件130，所述喷嘴插入件具有热屏蔽部分131，所述热屏蔽部分居中地布置在所述喷嘴通道121内部来减少从所述喷嘴通道通过所述孔口123的热辐射。还描述了一种用于将蒸镀材料导向基板的喷嘴、一种真空沉积系统200和一种用于将蒸镀材料沉积在基板上的方法。
本发明授权蒸气源、用于蒸气源的喷嘴、真空沉积系统和用于沉积蒸镀材料的方法在权利要求书中公布了：1.一种蒸气源100，所述蒸气源包括蒸气分配管道110，所述蒸气分配管道具有用于将蒸镀材料导向基板10的多个喷嘴，其中所述多个喷嘴中的至少一个喷嘴120包括： 喷嘴通道121，所述喷嘴通道沿喷嘴轴线A从喷嘴入口122延伸到孔口123；以及 喷嘴插入件130，所述喷嘴插入件具有热屏蔽部分131，所述热屏蔽部分居中地布置在所述喷嘴通道121内部，其中所述热屏蔽部分131具有指向所述孔口123的前表面132，并且所述热屏蔽部分131被布置在所述喷嘴通道内以用于减少从布置在所述热屏蔽部分131后面的所述喷嘴通道的区段通过所述孔口123的热辐射，并且其中围绕所述喷嘴插入件提供流动路径，所述流动路径在所述喷嘴轴线A的方向上在所述热屏蔽部分131与所述喷嘴通道121的内壁之间延伸。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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