株式会社迪思科吴斌获国家专利权
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龙图腾网获悉株式会社迪思科申请的专利搬送装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN111696904B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-26发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202010138161.2,技术领域涉及:H01L21/683;该发明授权搬送装置是由吴斌设计研发完成,并于2020-03-03向国家知识产权局提交的专利申请。
本搬送装置在说明书摘要公布了:提供搬送装置,其能够抑制为了改变伯努利搬送垫的吸引力而花费的成本和时间。搬送装置1以非接触状态吸引并搬送板状被加工物200。搬送装置1、1‑1、1‑2包含:伯努利搬送垫8,其向被加工物200喷射空气而产生负压;基台7,其供伯努利搬送垫8固定;以及移动单元,其使基台7移动。伯努利搬送垫8包含垫主体82,该垫主体82具有形成有流体喷出部83的下表面81,垫主体82具有环状垫安装部87,该环状垫安装部87供将保持面沿径向扩展而增强吸引力的环状垫10‑2安装。
本发明授权搬送装置在权利要求书中公布了:1.一种搬送装置,其以非接触状态吸引并搬送板状被加工物,其中, 该搬送装置具有: 伯努利搬送垫,其向该被加工物喷射流体而产生负压; 基台,其供该伯努利搬送垫固定;以及 移动单元,其使该基台移动, 该伯努利搬送垫包含垫主体,该垫主体具有: 第1保持面,其形成有流体喷出部;以及 环状垫安装部,其供将该第1保持面沿径向扩展而增强吸引力的环状垫安装, 该伯努利搬送垫在该基台的周向上隔开间隔地固定。
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