株式会社迪思科田中英明获国家专利权
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龙图腾网获悉株式会社迪思科申请的专利卡盘工作台和检查装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN111564406B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-26发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202010084513.0,技术领域涉及:H01L21/687;该发明授权卡盘工作台和检查装置是由田中英明设计研发完成,并于2020-02-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本卡盘工作台和检查装置在说明书摘要公布了:提供卡盘工作台和检查装置,即使由透明体构成保持部,也能够容易观察被加工物。卡盘工作台1对借助带而在环状框架的开口固定有被加工物的框架单元进行保持。卡盘工作台1包含:由透明体构成的保持部3,其具有隔着带而对被加工物进行保持的保持面2;框体4,其竖立设置于保持部3的周围而围绕保持部;以及多个吸引孔5,它们设置于框体4的内周面7。框体4的内径为环状框架的内径以下,在利用框架单元的带覆盖框体4的开口4‑1的状态下从吸引孔5传递吸引力,将带与保持面2之间的大气排出而使带与该保持面2紧贴,将框架单元的被加工物固定于保持面2上。
本发明授权卡盘工作台和检查装置在权利要求书中公布了:1.一种卡盘工作台,其对借助带而在环状框架的开口固定有被加工物的框架单元进行保持,其中, 该卡盘工作台具有: 由透明体构成的保持部,其具有隔着带而对被加工物进行保持的保持面;以及 框体,其竖立设置于该保持部的周围而围绕该保持部,该框体具有比该保持面靠上方的上表面、与该上表面相对的下表面、位于该上表面与该下表面之间的内周面以及限定在该框体中的多个吸引孔,该多个吸引孔在该框体的该内周面的该保持面与该上表面之间开口, 该框体的内径为该环状框架的内径以下, 在利用该框架单元的带覆盖该框体的开口的状态下从该多个吸引孔传递吸引力,将带与该保持面之间的大气排出而使带与该保持面紧贴,将该框架单元的被加工物固定于该保持面上。
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