清华大学;天津华海清科机电科技有限公司郭振宇获国家专利权
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龙图腾网获悉清华大学;天津华海清科机电科技有限公司申请的专利一种用于基板后清洗的流体控制装置和流体供应设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN110993525B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-30发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201910331457.3，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权一种用于基板后清洗的流体控制装置和流体供应设备是由郭振宇;赵德文;李长坤;路新春设计研发完成，并于2019-04-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于基板后清洗的流体控制装置和流体供应设备在说明书摘要公布了：本发明公开了一种用于基板后清洗的流体控制装置和流体供应设备，该设备包括流体存储容器和用于控制流体存储容器的管路通断的执行部件，以及与执行部件连接的流体控制装置。该装置包括受控于主控模块的第一控制部件和受控于安全控制模块的第二控制部件；第一控制部件与第二控制部件串联至用于控制流体存储容器的管路通断的执行部件；在主控模块工作异常时，安全控制模块控制第二控制部件动作以使执行部件断开流体存储容器的管路。
本发明授权一种用于基板后清洗的流体控制装置和流体供应设备在权利要求书中公布了：1.一种用于基板后清洗的流体控制装置，包括受控于主控模块的第一控制部件和受控于安全控制模块的第二控制部件；所述第一控制部件与所述第二控制部件串联至用于控制流体存储容器的管路通断的执行部件；在所述主控模块工作异常时，所述安全控制模块控制所述第二控制部件动作以使所述执行部件断开所述流体存储容器的管路。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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