ASML荷兰有限公司M·A·范德凯克霍夫获国家专利权
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龙图腾网获悉ASML荷兰有限公司申请的专利包括静电夹具的装置和用于操作该装置的方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN111954852B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-30发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201980025021.X，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权包括静电夹具的装置和用于操作该装置的方法是由M·A·范德凯克霍夫;C·G·N·H·M·克洛因;A·M·亚库宁;A·尼基佩洛维;J·范杜文博德设计研发完成，并于2019-03-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本包括静电夹具的装置和用于操作该装置的方法在说明书摘要公布了：一种装置包括用于夹持组件的静电夹具和用于邻近静电夹具生成自由电荷的机构。用于生成自由电荷的机构被配置为在从静电夹具的第一激发状态到静电夹具的第二激发状态的转变期间邻近静电夹具生成自由电荷。
本发明授权包括静电夹具的装置和用于操作该装置的方法在权利要求书中公布了：1.一种装置，包括用于夹持一组件的静电夹具和用于邻近所述静电夹具生成自由电荷的机构： 其中用于生成自由电荷的所述机构被配置为：在从所述静电夹具的第一激发状态到所述静电夹具的第二激发状态的转变期间，邻近所述静电夹具生成自由电荷，其中所述组件是光刻装置中的图案形成装置的一部分。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人ASML荷兰有限公司，其通讯地址为：荷兰维德霍温；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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