三星电子株式会社金宰中获国家专利权
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龙图腾网获悉三星电子株式会社申请的专利半导体器件和制造半导体器件的方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN112018170B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-30发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:201911394517.2,技术领域涉及:H10D64/66;该发明授权半导体器件和制造半导体器件的方法是由金宰中;李灿珩;张镇圭;金洛焕;李东洙设计研发完成,并于2019-12-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本半导体器件和制造半导体器件的方法在说明书摘要公布了:提供了半导体器件和制造半导体器件的方法。所述半导体器件可以包括堆叠在基底上的沟道图案和堆叠在基底上的栅电极。沟道图案包括半导体图案。栅电极延伸以与沟道图案交叉。栅电极可以包括介电层、第一逸出功调整图案和第二逸出功调整图案。介电层可以分别围绕半导体图案、第一逸出功调整图案可以分别围绕介电层,第二逸出功调整图案可以分别围绕第一逸出功调整图案。第一逸出功调整图案可以由含铝的材料形成,第一逸出功调整图案中的每个相应的第一逸出功调整图案接触第二逸出功调整图案中的围绕第一逸出功调整图案中的所述相应的第一逸出功调整图案的对应的一个第二逸出功调整图案。
本发明授权半导体器件和制造半导体器件的方法在权利要求书中公布了:1.一种半导体器件,半导体器件包括: 基底; 沟道图案,堆叠在基底上,沟道图案包括半导体图案;以及栅极结构,位于基底上,栅极结构延伸为与沟道图案交叉,栅极结构包括介电层、第一逸出功调整图案和第二逸出功调整图案,介电层分别围绕半导体图案,第一逸出功调整图案分别围绕介电层,并且第二逸出功调整图案分别围绕第一逸出功调整图案,第一逸出功调整图案由包含铝的材料形成,并且第一逸出功调整图案中的每个相应的第一逸出功调整图案直接接触第二逸出功调整图案中的围绕第一逸出功调整图案中的所述相应的第一逸出功调整图案的相应的第二逸出功调整图案,使得第二逸出功调整图案之中的多个分立的第二逸出功调整图案中的每个分立的第二逸出功调整图案环绕第一逸出功调整图案之中的多个分立的第一逸出功调整图案中的对应的分立的第一逸出功调整图案的上表面、侧表面和下表面,其中,半导体器件在彼此相邻的第一逸出功调整图案与第二逸出功调整图案之间不包括氧化物层或氮化物层。
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