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龙图腾网获悉韦森特(东莞)科技技术有限公司申请的专利一种具有多轴联动机械手的晶圆自动传输装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112736004B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-30发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110228760.8，技术领域涉及：H01L21/677；该发明授权一种具有多轴联动机械手的晶圆自动传输装置是由张凯设计研发完成，并于2021-03-02向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种具有多轴联动机械手的晶圆自动传输装置在说明书摘要公布了：本发明公开了一种具有多轴联动机械手的晶圆自动传输装置，包括机架；固定安装在机架内的机械手传动机构和风箱传动机构；与机械手传动机构传动连接的机械手机构，所述机械手机构通过数个机械手传动组件联动形成多轴联动机械手，且机械手机构上设置有夹持机构；与风箱传动机构传动连接的风箱机构，所述风箱机构活动安装在机架上。本发明通过机械手机构多轴联动提供XY方向运动，机械手传动机构提供上下Z轴运动，可以将晶圆上料至不同加工机型的对应位置，可有效解决单台上料设备无法兼容不同的加工机型的问题，避免了需要配置不同款式的定制版上料设备，导致了企业成本的急剧上升的问题，具有适用性强的优点。

本发明授权一种具有多轴联动机械手的晶圆自动传输装置在权利要求书中公布了：1.一种具有多轴联动机械手的晶圆自动传输装置，其特征在于：包括机架1； 固定安装在机架1内的机械手传动机构2和风箱传动机构3； 与机械手传动机构2传动连接的机械手机构4，所述机械手机构包括第一机械手41、第二机械手42、第三机械手43和第四机械手44，所述第一机械手41、第二机械手42和第三机械手43内均设置有机械手传动组件45，所述机械手传动组件45包括机械手传动电机451、机械手蜗杆452和机械手蜗轮453，所述机械手传动电机451的输出轴与机械手蜗杆452传动连接，所述机械手蜗杆452与机械手蜗轮453传动连接，所述机械手蜗轮453分别与第二机械手42、第三机械手43和第四机械手44固定连接，以控制各机械手绕轴线正180度至负180度旋转； 设置在第四机械手44上的夹持机构46，所述夹持机构包括夹持电机461、夹持蜗杆462、夹持蜗轮463、夹持连杆464和卡爪465，所述夹持电机461通过夹持蜗杆462驱动夹持蜗轮463转动，带动夹持连杆464控制卡爪465开合； 与风箱传动机构3传动连接的风箱机构5，所述风箱机构5包括风箱体51和设置于工作台54内的解锁组件55，所述解锁组件55包括解锁电机551、解锁传动皮带552、解锁丝杆553及与解锁丝杆联动的解锁拨块556，所述解锁拨块556上设有两个拨柱557以解锁晶圆盒； 所述风箱体51为两面开口的箱体，且风箱体51上设置有FFU52和两个开盒组件53，所述FFU52固定安装在风箱体51的下端面，所述开盒组件53固定安装在风箱体51的上端面，两个所述开盒组件53分别位于风箱体51上端面开口的两侧。

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