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龙图腾网获悉江苏海创微电子有限公司申请的专利一种二极管生产加工用刻蚀装置及其使用方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113823583B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-30发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110941681.1，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权一种二极管生产加工用刻蚀装置及其使用方法是由华铁军;黄春城设计研发完成，并于2021-08-17向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种二极管生产加工用刻蚀装置及其使用方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种二极管生产加工用刻蚀装置及其使用方法，包括调整机构和静电机构，承接内筒外圈的静电机构环绕传动机构进行螺旋旋转，利用外接触件与拨动排列轴进行接触，二者之间摩擦产生静电，因外接触件的环形阵列开设，使其成为一个类圆状，从而产生的静电形成一类圆状电场，产生的类圆形静电场直径大于刻蚀衬底的直径，使其能够对刻蚀衬底上的二极管进行限位，产生的静电场通过外伸横杆对其进行吸引，使产生的静电场的边缘高度提升，使整体静电场成为类倒漏斗状，对湿法刻蚀时的化学反应生成的物质进行吸附，且能够对密闭器皿中的杂质进行阻隔，使刻蚀衬底上的二极管接触杂质减少。

本发明授权一种二极管生产加工用刻蚀装置及其使用方法在权利要求书中公布了：1.一种二极管生产加工用刻蚀装置，包括调整机构1和静电机构2，其特征在于，所述调整机构1包括安装盘11、安装竖筒12、旋转轴13、串联外筒14、连接件15、连接筒16、外伸横杆17、承接内筒18和传动机构19，所述安装盘11的下端安装有安装竖筒12，所述安装竖筒12的内腔贯穿设置有旋转轴13，所述旋转轴13的另一端外圈套接有串联外筒14，所述串联外筒14的两端通过连接件15与连接筒16内端面连接，所述连接筒16的外端面开设有外伸横杆17，所述连接筒16的上端安装有承接内筒18，所述安装竖筒12的外圈安装有传动机构19； 所述传动机构19包括内串联环191、旋转盘192、外接触件193和通透腔194，所述内串联环191的外圈安装有旋转盘192，所述旋转盘192的外圈环形阵列开设有外接触件193，所述外接触件193的侧端开设有通透腔194； 所述承接内筒18的外圈套接有静电机构2，所述静电机构2包括限位外筒21、边缘腔22、边缘开腔23和接触机构24，所述限位外筒21的两端均开设有边缘腔22，所述边缘腔22之间设置有边缘开腔23，所述边缘开腔23的内腔横向设置有接触机构24； 所述接触机构24包括横安装筒241、中通腔242、双耳横杆243和拨动排列轴244，所述横安装筒241的内腔设置有中通腔242，所述横安装筒241的两端均安装有双耳横杆243，所述双耳横杆243的外端排列设置有拨动排列轴244。

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