株式会社斯库林集团有马直子获国家专利权
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龙图腾网获悉株式会社斯库林集团申请的专利衬底处理方法及衬底处理装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114121643B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-30发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110992002.3，技术领域涉及：H01L21/308；该发明授权衬底处理方法及衬底处理装置是由有马直子;鳅场真树设计研发完成，并于2021-08-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本衬底处理方法及衬底处理装置在说明书摘要公布了：本发明涉及一种衬底处理方法及衬底处理装置。用来将具有硬化层的抗蚀剂从衬底表面去除的衬底处理方法包含硬化层去除步骤与湿处理步骤。硬化层去除步骤包含将所述衬底加热到150℃以上的加热步骤、与对通过所述加热步骤加热的所述衬底的表面供给臭氧气体的臭氧气体供给步骤，且在所述衬底的表面附近产生氧自由基，将所述硬化层去除。湿处理步骤是在所述硬化层去除步骤之后，对所述衬底表面供给包含硫酸的处理液，将所述抗蚀剂从所述衬底表面去除。
本发明授权衬底处理方法及衬底处理装置在权利要求书中公布了：1.一种衬底处理方法，是用来将具有硬化层的抗蚀剂从衬底表面去除的衬底处理方法，包含： 硬化层去除步骤，包含将所述衬底加热到150℃以上的加热步骤、与对通过所述加热步骤加热的所述衬底的表面供给臭氧气体的臭氧气体供给步骤，且在所述衬底的表面附近产生氧自由基，将所述硬化层去除；及湿处理步骤，在所述硬化层去除步骤之后，对所述衬底表面供给包含硫酸的处理液，将所述抗蚀剂从所述衬底表面去除，所述加热步骤通过在配置在热处理腔室内的热板上载置所述衬底而进行，所述臭氧气体供给步骤通过对所述热处理腔室内导入臭氧气体而进行，所述衬底处理方法在停止所述臭氧气体供给步骤，结束所述硬化层去除步骤之后，还包含对所述热处理腔室内导入150℃以上的惰性气体，而对所述热处理腔室内的产生气体滞留的滞留部位供给所述150℃以上的惰性气体，将滞留在所述滞留部位的臭氧气体热分解而无害化的高温惰性气体供给步骤。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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