长江存储科技有限责任公司林超获国家专利权
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龙图腾网获悉长江存储科技有限责任公司申请的专利晶圆缺陷检测系统的可靠性确定方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114609142B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-30发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210195209.2，技术领域涉及：G01N21/88；该发明授权晶圆缺陷检测系统的可靠性确定方法是由林超;郭虹;董岱;徐猛设计研发完成，并于2022-03-01向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆缺陷检测系统的可靠性确定方法在说明书摘要公布了：本申请实施方式提供了一种晶圆缺陷检测系统的可靠性确定方法，包括：确定量产的缺陷晶圆的标准检测数据；采用待分析的检测系统对缺陷晶圆进行缺陷检测以获取样本检测数据；以及根据样本检测数据和标准检测数据确定待分析的检测系统的可靠性。本申请提供的可靠性确定方法中标准缺陷数据是基于实际量产的缺陷晶圆获得的，而实际量产的晶圆所具有的缺陷更能体现真实的晶圆缺陷，使得标准检测数据的真实性更高，对待分析的检测系统的可靠性评估更加准确。
本发明授权晶圆缺陷检测系统的可靠性确定方法在权利要求书中公布了：1.一种晶圆缺陷检测系统的可靠性确定方法，其特征在于，包括： 确定量产的缺陷晶圆的标准检测数据； 采用待分析的检测系统检测所述缺陷晶圆以获取样本检测数据；以及根据所述样本检测数据和所述标准检测数据确定所述待分析的检测系统的可靠性，其中，确定量产的缺陷晶圆的标准检测数据，包括： 采用标准的检测系统对所述缺陷晶圆进行缺陷检测，得到原始检测数据库；以及从所述原始检测数据库中确定多个缺陷数据和多个非缺陷数据，所确定的多个缺陷数据和多个非缺陷数据构成所述标准检测数据，其中，所述多个缺陷数据的个数大于所述多个非缺陷数据的个数。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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