联华电子股份有限公司林京沛获国家专利权
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龙图腾网获悉联华电子股份有限公司申请的专利失效检测与分类模型的运作方法与运作装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114764550B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-30发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110035020.2，技术领域涉及：G06F30/3308；该发明授权失效检测与分类模型的运作方法与运作装置是由林京沛;龚吉富;陈德轩;洪逸琳设计研发完成，并于2021-01-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本失效检测与分类模型的运作方法与运作装置在说明书摘要公布了：一种失效检测与分类模型的运作方法与运作装置。失效检测与分类模型的运作方法包括以下步骤。连续获得数张检测曲线图。判断这些检测曲线图是否已由一第一波形变更为一第二波形。若这些检测曲线图已由第一波形变更为第二波形，则判断这些检测曲线图中是否至少N张变更为第二波形。若这些检测曲线图中至少N张变更为第二波形，则自动切割变更为第二波形的这些检测曲线图，以获得数个视窗。对各个视窗自动设定一算法。通过各个算法，获得各个视窗之一指标数据。依据这些指标数据对失效检测与分类模型进行再训练。
本发明授权失效检测与分类模型的运作方法与运作装置在权利要求书中公布了：1.一种失效检测与分类模型的运作方法，用于半导体工艺中，利用各种半导体机台对晶圆进行各种程序，在该半导体机台上设置传感器，该运作方法包括： 利用该传感器进行连续性感测，而连续获得多张检测曲线图，该失效检测与分类模型对这些检测曲线图进行失效检测与分类； 判断这些检测曲线图是否已由第一波形变更为第二波形； 若这些检测曲线图已由该第一波形变更为该第二波形，则判断这些检测曲线图中是否至少N张变更为该第二波形； 若这些检测曲线图中至少N张变更为该第二波形，则对变更为该第二波形的这些检测曲线图按照多个轨迹类型进行自动切割，以获得多个视窗； 按照所述多个轨迹类型对各该视窗自动设定算法； 通过各该算法，获得各该视窗的指标数据，各该指标数据为平均值、斜率、标准差、峰值、或波数；以及依据所述指标数据对该失效检测与分类模型进行再训练。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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