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龙图腾网获悉中国科学院沈阳自动化研究所申请的专利基于飞秒激光单脉冲双光子聚合的微加工系统和高纵宽比微柱加工方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116197520B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-30发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111439326.0，技术领域涉及：B23K26/04；该发明授权基于飞秒激光单脉冲双光子聚合的微加工系统和高纵宽比微柱加工方法是由刘连庆;于海波;王晓朵;刘柱设计研发完成，并于2021-11-30向国家知识产权局提交的专利申请。

本基于飞秒激光单脉冲双光子聚合的微加工系统和高纵宽比微柱加工方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种基于飞秒激光单脉冲双光子聚合的微加工系统和高纵宽比微柱加工方法，属于飞秒激光微纳加工技术领域。该系统包括飞秒激光光学系统、运动平台组件及其二极管触发控制组件。通过双光阑两次衍射对入射激光的光场分布进行调节，进而通过显微物镜聚焦形成高纵宽比的椭球形聚焦光斑；通过飞秒激光脉冲频率和运动平台运动速度的协同控制，使样本每一点只受到单个飞秒激光脉冲曝光；然后基于飞秒激光能量阈值效应，精确控制椭球形聚焦光斑在光刻胶中的聚合区域，实现了不同高度和直径微柱的双光子聚合。该方法实现了三维微柱阵列的高通量加工，极大的提高了飞秒激光微结构加工的效率。

本发明授权基于飞秒激光单脉冲双光子聚合的微加工系统和高纵宽比微柱加工方法在权利要求书中公布了：1.一种基于飞秒激光单脉冲双光子聚合的微加工系统，其特征在于：该微加工系统包括飞秒激光加工光学系统、运动平台系统和二极管触发控制系统；其中： 飞秒激光加工光学系统：包括飞秒激光器、超快反射镜、双光阑光学调节组件、光能量衰减组件和显微物镜，用于生成飞秒激光高纵宽比聚焦光斑；所述双光阑光学调节组件由两个连续可调节光阑组成，分别为可调节光阑Ⅰ和可调节光阑Ⅱ，入射飞秒激光依次经过可调节光阑Ⅰ和可调节光阑Ⅱ进行两次衍射，从而对光场空间分布进行调制；经所述双光阑光学调节组件调制后的光场再经过显微物镜聚焦后，形成了高纵宽比椭球形聚焦光斑； 运动平台系统：包括压电陶瓷运动平台和宏动平台，压电陶瓷运动平台和宏动平台均与上位机控制系统相连接，通过运动平台系统控制待加工样品与激光焦斑的相对位置； 二极管触发控制系统：包括光电二极管，用于检测飞秒激光脉冲并通过上位机控制系统触发宏动平台开始运动，通过飞秒激光脉冲频率与宏动平台速度的匹配，实现单脉冲双光子聚合加工； 基于所述的微加工系统制备的高纵宽比微柱，微柱高度达到78μm，微柱宽度范围为1.9~6μm，最高纵宽比为19。

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