安徽禾臣新材料有限公司李加海获国家专利权
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龙图腾网获悉安徽禾臣新材料有限公司申请的专利用于半导体硅晶材料单面抛光的无蜡垫及其生产工艺获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN117067123B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-30发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202311110977.4,技术领域涉及:B24D7/00;该发明授权用于半导体硅晶材料单面抛光的无蜡垫及其生产工艺是由李加海;杨惠明;李元祥设计研发完成,并于2023-08-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于半导体硅晶材料单面抛光的无蜡垫及其生产工艺在说明书摘要公布了:本发明公开了用于半导体硅晶材料单面抛光的无蜡垫及其生产工艺,属于无蜡垫技术领域。本发明的用于半导体硅晶材料单面抛光的无蜡垫,包括从下至上依次连接的衬底层、吸附层、拒水层和助磨层,所述吸附层由以下重量份原料制成:含氟聚氨酯2‑20份、热塑性聚氨酯1‑10份、氧化锌0‑2份、活性炭纤维0‑3份、有机溶剂65‑95份和助剂0‑0.5份。本发明解决了现有失去蜡固定后,半导体硅晶容易移位,造成抛光时晶片损伤的问题,本发明提出的用于半导体硅晶材料单面抛光的无蜡垫及其生产工艺,吸附层内氧化锌和活性炭纤维配合使用,活性炭纤维本身为卷曲的多孔结构,吸附氧化锌后,在增强活性炭纤维前强度同时,还能抑菌防止霉变。
本发明授权用于半导体硅晶材料单面抛光的无蜡垫及其生产工艺在权利要求书中公布了:1.用于半导体硅晶材料单面抛光的无蜡垫,包括从下至上依次连接的衬底层1、吸附层2、拒水层3和助磨层4,其特征在于:所述吸附层2由以下重量份原料制成:含氟聚氨酯2‑20份、热塑性聚氨酯1‑10份、氧化锌0‑2份、活性炭纤维0‑3份、有机溶剂65‑95份和助剂0‑0.5份,吸附层2上开设有置片孔21;所述助磨层4由以下重量份原料制成:含氟聚氨酯2‑10份、热塑性聚氨酯0‑4份、混合纤维材料1‑2份、羧甲基纤维素胶水1‑3份、磨料粘黏剂25‑35份、有机溶剂55‑70份和助剂0‑0.3份;所述混合纤维材料包括活性炭纤维、凯芙拉纤维和玻璃纤维,其中活性炭纤维、凯芙拉纤维和玻璃纤维的重量比为2:1:1; 所述活性炭纤维的制备过程如下: 将棕榈叶鞘纤维片进行碱洗处理,获得碱处理棕榈纤维,再经打散、梳理分解成棕榈纤维单丝,使用蒸馏水进行超声波清洗,清洗干净后,将棕榈纤维单丝绞制成螺旋绳,放置鼓风机干燥箱103‑105℃环境中干燥; 将干燥后的棕榈纤维螺旋绳,浸渍到磷酸溶液中,浸渍24小时后,放置鼓风机干燥箱103‑105℃环境中干燥24小时; 干燥后棕榈纤维螺旋绳投入到化学活化炉,在氮气保护下,以4℃min的升温速率加热到700℃,达到活化时间后,关闭电源,冷却至室温后,关闭氮气并取出棕榈纤维; 将棕榈纤维用蒸馏水进行超声波清洗,放置鼓风机干燥箱103‑105℃环境中干燥24小时,得到活性炭纤维。
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