华南理工大学李国强获国家专利权
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龙图腾网获悉华南理工大学申请的专利一种PIN型InGaN基可见光探测器及其制备方法和应用获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN117393633B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-30发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202311257653.3,技术领域涉及:H10F30/223;该发明授权一种PIN型InGaN基可见光探测器及其制备方法和应用是由李国强;陈亮;王文樑;柴吉星设计研发完成,并于2023-09-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种PIN型InGaN基可见光探测器及其制备方法和应用在说明书摘要公布了:本发明公开了一种PIN型InGaN基可见光探测器及其制备方法和应用。本发明的PIN型InGaN基可见光探测器的组成包括依次层叠设置的衬底、缓冲层、电流扩散层、N型扩散层、InGaNGaN多量子阱层、P型扩散层、介电层和金属纳米颗粒层,还包括P型金属电极层、减反膜层和N型金属电极层。本发明的PIN型InGaN基可见光探测器兼具高的光响应度和高的光响应速度,可以很好地满足高速可见光通信系统的需求。
本发明授权一种PIN型InGaN基可见光探测器及其制备方法和应用在权利要求书中公布了:1.一种PIN型InGaN基可见光探测器,其特征在于,组成包括依次层叠设置的衬底、缓冲层、电流扩散层、N型扩散层、InGaNGaN多量子阱层、P型扩散层、介电层和金属纳米颗粒层,还包括P型金属电极层、减反膜层和N型金属电极层;所述InGaNGaN多量子阱层由多个InGaN层和多个GaN层交替层叠构成;所述P型金属电极层设置在P型扩散层远离InGaNGaN多量子阱层的那一面,且设置在介电层的两侧并与介电层接触;所述减反膜层设置在由N型扩散层、InGaNGaN多量子阱层、P型扩散层、介电层和P型金属电极层构成的结构的侧面,且与电流扩散层接触;所述N型金属电极层设置在电流扩散层远离缓冲层的那一面,且不与减反膜层接触;所述缓冲层由AlN层、AlGaN层和GaN层依次层叠构成,AlN层的厚度为1μm~2μm,AlGaN层的厚度为0.5μm~1μm,GaN层的厚度为2μm~3μm;所述电流扩散层为Si掺杂的GaN层,Si的掺杂浓度为1×1018cm‑3~5×1018cm‑3;所述电流扩散层的厚度为1μm~1.5μm;所述N型扩散层为Si掺杂的GaN层,Si的掺杂浓度为1×1018cm‑3~5×1018cm‑3;所述N型扩散层的厚度为200nm~500nm;所述金属纳米颗粒层由直径为50nm~100nm的Ag纳米颗粒构成;所述减反膜层由MgF2层、SiO2层、MgF2层和SiO2层依次层叠构成,MgF2层的厚度为71nm~123nm,SiO2层的厚度为68nm~118nm。
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