华南理工大学王文樑获国家专利权
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龙图腾网获悉华南理工大学申请的专利一种GaN衬底上二维MoS2/Re-MoS2横向异质结的制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN117637881B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-30发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202311424751.1,技术领域涉及:H10F77/12;该发明授权一种GaN衬底上二维MoS2/Re-MoS2横向异质结的制备方法是由王文樑;李国强;李佳熹设计研发完成,并于2023-10-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种GaN衬底上二维MoS2/Re-MoS2横向异质结的制备方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种GaN衬底上二维MoS2Re‑MoS2横向异质结的制备方法,包括以下步骤:1在SiO2衬底上生长MoS2层:2将SiO2衬底置于新的石英舟的左侧,上方覆盖结净的衬底,将铼源、钼源与助熔剂混合放置于石英舟的右侧,一并推入新的石英管的下游;将硫粉放入石英坩埚中,推入石英管的上游;将空气排尽,在MoS2层侧面生长Re‑MoS2层,得到生长有二维MoS2Re‑MoS2异质结的SiO2衬底:3将二维MoS2Re‑MoS2异质结转移至GaN衬底表面。本发明得到的异质界面势垒较低、缓解了钉扎效应,同时提升了为载流子跨越势垒提供了隧穿方式,制备方法操作简单,可控性和安全性好。
本发明授权一种GaN衬底上二维MoS2/Re-MoS2横向异质结的制备方法在权利要求书中公布了:1.一种GaN衬底上二维MoS2Re‑MoS2横向异质结的制备方法,其特征在于,包括以下步骤: 1在SiO2衬底上生长MoS2层: 将洁净的SiO2衬底放置于石英舟左侧,将原料钼源MoO3与助熔剂NaCl混合放置于石英舟右侧,一并推入石英管下游;将硫粉放入石英坩埚中,推入石英管上游; 将石英管内空气排尽,在SiO2衬底上生长MoS2层,得到生长有MoS2层的SiO2衬底; 2在步骤1制备得到的MoS2层侧面生长Re‑MoS2层: 将生长有MoS2层的SiO2衬底置于新的石英舟的左侧,生长有MoS2层的SiO2衬底上方覆盖结净的衬底,将原料铼源ReO3、钼源MoO3与助熔剂NaCl混合放置于石英舟的右侧,一并推入新的石英管的下游;将硫粉放入石英坩埚中,推入石英管的上游; 将石英管内空气排尽,在MoS2层侧面生长Re‑MoS2层,得到生长有二维MoS2Re‑MoS2异质结的SiO2衬底: 3将二维MoS2Re‑MoS2异质结转移至GaN衬底表面: 在步骤2得到的生长有二维MoS2Re‑MoS2异质结的SiO2衬底表面旋涂PMMA,SiO2衬底置于氢氟酸刻蚀液中刻蚀,在观察到刻蚀剂液面上方漂浮PMMA层后,控制GaN衬底沉入PMMA层液面下方,提拉GaN衬底从而实现衬底转移,得到GaN衬底上二维MoS2Re‑MoS2横向异质结。
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