济南量子技术研究院;合肥国家实验室王亚萍获国家专利权
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龙图腾网获悉济南量子技术研究院;合肥国家实验室申请的专利一种微纳加工的超声波离心式光刻胶剥离装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118426271B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-30发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410727922.6，技术领域涉及：G03F7/42；该发明授权一种微纳加工的超声波离心式光刻胶剥离装置是由王亚萍;宿非凡;邓辉;严凯;荣皓;张海斌设计研发完成，并于2024-06-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种微纳加工的超声波离心式光刻胶剥离装置在说明书摘要公布了：本发明涉及一种微纳加工的超声波离心式光刻胶剥离装置，包括机体，机体上装配有立轴，立轴上连接有横架，横架的尾端连接有振荡桶，振荡桶的轴线自下至上朝向立轴的轴线方向倾斜延伸，振荡桶具有用于容纳剥离液的内孔，内孔包括自上至下顺次延伸的振荡段、缩颈段和容纳段，容纳段和振荡段的直径大于缩颈段的尺寸，横架上还固定有用于自振荡桶的端口插入至振荡桶中的超声振动棒；立轴的一端传动连接有回转驱动机构，所述回转驱动机构带动所述立轴绕自身轴线转动、以带动振荡桶内的脱落的光刻胶做离心运动而运动至缩颈段中。能够收集在离心过程中剥离下来的小颗粒，对有细微结构的样品和因加工变性的光刻胶有更好的整体去除效果。
本发明授权一种微纳加工的超声波离心式光刻胶剥离装置在权利要求书中公布了：1.微纳加工的超声波离心式光刻胶剥离装置，其特征在于，包括机体，机体上装配有立轴，立轴的轴线沿上下方向延伸，立轴上连接有沿立轴的径向延伸的横架，横架的尾端连接有振荡桶，振荡桶的轴线自下至上朝向立轴的轴线方向倾斜延伸，振荡桶具有用于容纳剥离液的内孔，内孔包括自上至下顺次延伸的用于容纳样品的振荡段、缩颈段和用于容纳剥离后的光刻胶的容纳段，容纳段和振荡段的直径大于缩颈段的尺寸，横架上还固定有用于自振荡桶的端口插入至振荡桶中的超声振动棒；立轴的一端传动连接有回转驱动机构，所述回转驱动机构带动所述立轴绕自身轴线转动、以带动振荡桶内的脱落的光刻胶做离心运动而运动至缩颈段中，所述缩颈段与所述振荡段、容纳段的连接处通过平滑弧线过渡连接。
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