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龙图腾网获悉中国电子科技集团公司第四十八研究所申请的专利一种用于电子束曝光机的晶圆定位装置及定位方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118759810B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-30发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411015204.2，技术领域涉及：G03F9/00；该发明授权一种用于电子束曝光机的晶圆定位装置及定位方法是由张超;巩小亮;范江华;叶文龙;陈李松;刘千伍设计研发完成，并于2024-07-26向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种用于电子束曝光机的晶圆定位装置及定位方法在说明书摘要公布了：本发明公开一种用于电子束曝光机的晶圆定位装置及定位方法，装置包括载片台和晶圆夹具；载片台包括底板，进片导轨和自锁坡分别对称设置在底板两侧，自锁坡位于进片导轨内侧并靠近限位墙，第一定位凸台位于自锁坡内侧，限位墙和传片口相对设置在底板两端，限位墙上设有限位组件，实现晶圆在X、Y和Rz方向的定位；晶圆夹具的夹具主体上设有导向滚轮、定位滚轮和第二定位凸台；当导向滚轮带动晶圆夹具沿着进片导轨移动时，定位滚轮带动晶圆夹具沿着自锁坡先抬高后下降，晶圆夹具下降时，第二定位凸台停留在第一定位凸台上，实现晶圆在Z、Rx和Ry方向的定位。本发明具有操作便捷、定位精度高的特点，满足电子束曝光机的特殊工况使用需求。

本发明授权一种用于电子束曝光机的晶圆定位装置及定位方法在权利要求书中公布了：1.一种用于电子束曝光机的晶圆定位装置，其特征在于，包括载片台100和晶圆夹具200；所述载片台100包括底板101，以及设置在底板101上的进片导轨102、自锁坡103、第一定位凸台104、限位墙105和传片口108，两条所述进片导轨102和两个所述自锁坡103分别对称设置在底板101两侧，所述自锁坡103呈梯形结构，自锁坡103位于进片导轨102内侧并靠近限位墙105，多个所述第一定位凸台104均布在底板101上，并位于自锁坡103内侧，所述限位墙105和传片口108相对设置在底板101的两端，所述限位墙105两侧设有限位组件，以用于实现搭载晶圆的晶圆夹具200在X、Y和Rz方向的定位；所述晶圆夹具200包括夹具主体201，所述夹具主体201上设有导向滚轮、定位滚轮204和第二定位凸台205，所述导向滚轮与进片导轨102相匹配，用于辅助晶圆夹具200搭载晶圆进出载片台100，所述定位滚轮204与自锁坡103相匹配，所述第一定位凸台104与第二定位凸台205相匹配；当导向滚轮带动晶圆夹具200从传片口108沿着进片导轨102朝向限位墙105移动的过程中，定位滚轮204带动晶圆夹具200沿着自锁坡103先抬高后下降，在晶圆夹具200沿着自锁坡103下降的过程中，第二定位凸台205停留在第一定位凸台104上，以实现搭载晶圆的晶圆夹具200在Z、Rx和Ry方向上的定位。

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