中国电子科技集团公司第四十八研究所苏鑫获国家专利权
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龙图腾网获悉中国电子科技集团公司第四十八研究所申请的专利一种可变形电子束曝光机的图形发生器电路系统获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN118795738B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-30发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202410894602.X,技术领域涉及:G03F7/20;该发明授权一种可变形电子束曝光机的图形发生器电路系统是由苏鑫;李杰;谭小林;梁文彬;郭勇设计研发完成,并于2024-07-04向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种可变形电子束曝光机的图形发生器电路系统在说明书摘要公布了:本发明公开了一种可变形电子束曝光机的图形发生器电路系统,包括高速传输电路、图形发生器主控制电路、CLK&SFP+转接电路、图发子场和成形控制电路、束闸控制电路、视频生成电路、运动校正电路、束流检测电路、背散射电子信号检测电路、主场转接电路、子场转接电路、成形转接电路、束闸电源电路、主场电源电路、动态肖像散电源电路、子场电源电路、成形电源电路、背板电路、调试电路和高度检测电路。本发明具有结构简单、模块化、抗干扰性强、信号传输稳定、高速率、高精度和高稳定性等优点。
本发明授权一种可变形电子束曝光机的图形发生器电路系统在权利要求书中公布了:1.一种可变形电子束曝光机的图形发生器电路系统,其特征在于,包括高速传输电路1、图形发生器主控制电路2、CLKSFP+转接电路3、图发子场和成形控制电路4、束闸控制电路5、视频生成电路6、运动校正电路7、束流检测电路8、背散射电子信号检测电路9、主场转接电路10、子场转接电路11、成形转接电路12、束闸电源电路13、主场电源电路14、动态肖像散电源电路15、子场电源电路16、成形电源电路17、背板电路18、调试电路19和高度检测电路20; 所述高速传输电路1分别与服务器和图形发生器主控制电路2连接;所述图形发生器主控制电路2分别与CLKSFP+转接电路3、图发子场和成形控制电路4、束闸控制电路5、视频生成电路6、运动校正电路7、束流检测电路8、背散射电子信号检测电路9和主场转接电路10连接;所述CLKSFP+转接电路3分别与主场转接电路10、子场转接电路11、成形转接电路12连接;所述图发子场和成形控制电路4分别与束闸控制电路5、子场转接电路11和成形转接电路12连接;所述束闸控制电路5分别与束闸电源电路13连接;所述运动校正电路7与所述高度检测电路20相连;所述主场转接电路10分别分别与主场电源电路14和动态肖像散电源电路15连接;所述子场转接电路11与子场电源电路16连接;所述成形转接电路12与成形电源电路17连接。
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