中国电子科技集团公司第四十八研究所陈李松获国家专利权
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龙图腾网获悉中国电子科技集团公司第四十八研究所申请的专利一种用于带电粒子运动通道的真空隔离装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN118888416B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-30发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202410880097.3,技术领域涉及:H01J37/18;该发明授权一种用于带电粒子运动通道的真空隔离装置是由陈李松;何霄;范江华;张超设计研发完成,并于2024-07-02向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于带电粒子运动通道的真空隔离装置在说明书摘要公布了:本发明公开一种用于带电粒子运动通道的真空隔离装置,包括依次连接的辅助安装座、主安装座和隔离柱,隔离柱顶部设有差抽块;连杆的一端通过弹性连接组件固定在隔离柱内,连杆端部设有带电粒子通道管和弹性隔离组件,连杆的另一端活动设置在辅助安装座内,连杆外侧套设波纹管;主安装座内设有活塞,连杆贯穿活塞,主安装座侧部设有供气接头;通过供气接头向主安装座内充入气体,依靠气体压力驱动连杆左右移动;当带电粒子通道管与差抽块对齐时,带电粒子可从带电粒子发射源出发穿过隔离柱往下运动,当弹性隔离组件与差抽块对齐时,差抽块被密封隔断。本发明具有结构紧凑、密封性能好的特点,满足了小体积长阀杆高精密条件下的高真空隔离需求。
本发明授权一种用于带电粒子运动通道的真空隔离装置在权利要求书中公布了:1.一种用于带电粒子运动通道的真空隔离装置,其特征在于,包括:辅助安装座101、主安装座102、隔离柱106、隔离块107、差抽块109、连杆111和波纹管118;所述辅助安装座101、主安装座102和隔离柱106依次连接固定,所述隔离柱106顶部与带电粒子发射源连接,隔离柱106顶部设有差抽块109,隔离柱106底部与带电粒子注入装置连接;所述连杆111贯穿在辅助安装座101、主安装座102和隔离柱106之间,连杆111的一端通过弹性连接组件固定在隔离柱106内腔,且连杆111端部依次设有带电粒子通道管123和弹性隔离组件,连杆111的另一端活动设置在辅助安装座101内侧,在隔离柱106内腔中,连杆111外侧焊接波纹管118;所述主安装座102内腔设有活塞103,连杆111贯穿活塞103,主安装座102侧部设有供气接头104;通过供气接头104向主安装座102内腔充入惰性气体,依靠气体压力驱动活塞103在主安装座102内腔中左右往复移动,进而带动连杆111和波纹管118左右往复移动,当弹性连接组件处于原位状态、带电粒子通道管123与差抽块109同轴对齐时,带电粒子可从带电粒子发射源出发穿过隔离柱106往下运动,当弹性连接组件处于受力状态、弹性隔离组件与差抽块109同轴对齐时,差抽块109被密封隔断,以实现真空隔离; 所述弹性连接组件包括弹簧片124、固定销轴125和固定座126,所述固定座126通过固定销轴125固定在隔离柱106内腔,弹簧片124的一端通过固定销轴125与固定座126连接,弹簧片124的另一端设有开口,以避开带电粒子通道管123的水平运动;当弹簧片124处于原位状态时,带电粒子通道管123与差抽块109同轴对齐,当弹簧片124处于受力状态时,弹性隔离组件与差抽块109同轴对齐; 所述弹性隔离组件包括隔离块107、隔离底座119、压紧弹簧120、弹簧底座121和导向杆122,所述导向杆122延竖直方向贯穿连杆111,导向杆122上部连接隔离块107,导向杆122下部套设压紧弹簧120,压紧弹簧120顶部设有隔离底座119,压紧弹簧120底部设有弹簧底座121;当连杆111朝向固定座126移动时,带动隔离块107与差抽块109同轴对齐,位于固定座126上下两侧的弹簧片124分别抵接在隔离块107和隔离底座119的端部,且弹簧片124产生受力形变,推动隔离块107向上运动、隔离底座119向下运动,以实现隔离块107与差抽块109底部紧密贴合。
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