中国电子科技集团公司第四十八研究所张超获国家专利权
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龙图腾网获悉中国电子科技集团公司第四十八研究所申请的专利一种用于电子束曝光机的基片盘锁紧装置及其控制方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119002186B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-30发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411015207.6，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权一种用于电子束曝光机的基片盘锁紧装置及其控制方法是由张超;范江华;巩小亮;黄一峻;徐洪威;黄瑾设计研发完成，并于2024-07-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于电子束曝光机的基片盘锁紧装置及其控制方法在说明书摘要公布了：本发明公开一种用于电子束曝光机的基片盘锁紧装置及其控制方法，装置中，转轴固定在底座上，转轴的一端与驱动组件连接，另一端与限位识别组件连接，限位识别组件用于辅助判断转轴转动的极限位置；夹持组件和弹簧预紧组件嵌套在转轴上，夹持组件用于锁紧基片盘，弹簧预紧组件用于提供弹簧转矩；当进行基片盘锁紧时，驱动组件提供的驱动力克服弹簧预紧组件提供的弹簧转矩，实现转轴转动，进而带动夹持组件转动至预设位置，待基片盘传入载片位置后，驱动组件回转至锁紧位置，并不再提供驱动力，夹持组件在弹簧转矩的作用下提供持续的锁紧力，以锁紧基片盘。本发明具有操作便捷、调节灵活且低磁干扰等特点，满足了电子束曝光机的特殊工况使用需求。
本发明授权一种用于电子束曝光机的基片盘锁紧装置及其控制方法在权利要求书中公布了：1.一种用于电子束曝光机的基片盘锁紧装置，其特征在于，包括底座1，以及安装在底座1上的驱动组件、转轴座5、转轴6、夹持组件、弹簧预紧组件和限位识别组件；所述转轴6通过转轴座5固定在底座1上，转轴6的一端与驱动组件连接，转轴6的另一端与限位识别组件连接，所述限位识别组件用于辅助判断转轴6转动范围的极限位置； 所述夹持组件和弹簧预紧组件嵌套在转轴6上，夹持组件用于锁紧基片盘，弹簧预紧组件用于提供弹簧转矩，以作为夹紧力；当进行基片盘锁紧时，通过驱动组件提供的驱动力克服弹簧预紧组件提供的弹簧转矩，实现转轴6转动，进而带动夹持组件转动至预设位置，待基片盘传入载片位置后，驱动组件回转至锁紧位置，并不再提供驱动力，夹持组件在弹簧转矩的作用下提供持续的锁紧力，以锁紧基片盘。
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