淮安捷泰新能源科技有限公司许欢获国家专利权
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龙图腾网获悉淮安捷泰新能源科技有限公司申请的专利一种TOPCon太阳能电池及其制备工艺获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119092561B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-30发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411264213.5,技术领域涉及:H10F77/20;该发明授权一种TOPCon太阳能电池及其制备工艺是由许欢设计研发完成,并于2024-09-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种TOPCon太阳能电池及其制备工艺在说明书摘要公布了:本发明具体公开了一种TOPCon太阳能电池的制备工艺,包括以下步骤:对硅片清洗并进行制绒;分别对制绒后的硅片的背面和正面进行硼扩散;去除硅片正面和背面的BSG层,对硅片背面进行碱抛处理,并在硅片背面上依次沉积隧穿层和非晶硅钝化层;对硅片背面的非晶硅进行管式磷扩散;去除硅片正面和背面的PSG层,并在硅片正面上沉积氧化铝钝化层;在硅片正面和背面分别沉积减反射层;在硅片的正面和背面丝网印刷金属电极和图形;对硅片进行烧结和光注入;对硅片进行激光诱导烧结处理;进行测试和分选。本发明通过对光注入后的硅片进行激光诱导烧结处理,省去了SE掺杂工艺,简化工艺流程,节省了生产成本,降低了对硅基体的损伤,增加了太阳能电池的转化效率。
本发明授权一种TOPCon太阳能电池及其制备工艺在权利要求书中公布了:1.一种TOPCon太阳能电池的制备工艺,其特征在于,所述制备工艺由以下步骤组成: 1对硅片清洗并进行制绒; 2分别对制绒后的硅片的背面和正面进行硼扩散; 3去除硅片正面和背面的硼硅玻璃BSG层,对硅片背面进行碱抛处理,并在硅片背面上依次沉积隧穿层和非晶硅钝化层; 4对硅片背面的非晶硅进行管式磷扩散; 5去除硅片正面和背面的磷硅玻璃PSG层,并在硅片正面上沉积氧化铝钝化层; 6在硅片正面和背面分别沉积减反射层; 7在硅片的正面和背面丝网印刷金属电极和图形; 8对硅片进行烧结,然后进行光注入; 9在850~950℃对硅片进行激光诱导烧结处理; 10对TOPCon太阳能电池进行测试和分选; 其中,所述步骤9中,激光波长为500~600nm; 所述步骤2中,对制绒后的硅片背面进行硼扩散时,扩散温度控制在820~1050℃之间,表面浓度控制在5.2×1019cm‑3~5.5×1019cm‑3之间,节深控制在0.2~0.28um之间,方阻控制在155~175Ωsqr之间;对制绒后的硅片正面进行硼扩散时,表面浓度控制在4.8×1018cm‑3~5.1×1019cm‑3之间,节深控制在0.62~0.67um之间,方阻控制在280~340Ωsqr之间; 所述步骤3中,非晶硅钝化层的厚度为120~180nm; 所述步骤4中,对硅片背面的非晶硅进行管式磷扩散时,扩散温度控制在800~900℃之间,表面浓度控制在1.5×1020cm‑3~2.2 ×1020cm‑3 之间,节深控制在0.18~0.2um之间,方阻控制在40~60Ωsqr之间。
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